[实用新型]大面积透明导电膜玻璃的制备装置

权利要求书

1.一种大面积透明导电膜玻璃的制备装置，其特征在于，包括如下步骤：

涂覆单元，其在玻璃基板上涂覆液体前驱物，以在所述玻璃基板的表面形成氧化锡掺杂透明导电氧化物薄膜；以及

热处理单元，其对所述形成有氧化物薄膜的玻璃基板进行热处理，以形成透明导电膜玻璃，

其中，所述涂覆单元利用液相辊涂法在所述玻璃基板上涂覆所述液体前驱物。

2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于同时，所述氧化锡掺氟透明导电膜的厚度至少360nm。

3.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述玻璃基板和所述氧化锡薄膜之间沉积有中间层。

4.根据权利要求3所述的制备装置，其特征在于，所述中间层的主要成分为二氧化硅。

5.根据权利要求4所述的制备装置，其特征在于，所述中间层的厚度为30～150nm。

6.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述热处理温度为400～700℃，并且所述热处理的时间不少于3分钟。

7.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述液体前驱物包括三氟乙酸，氢氟酸，三氟化磷，氟化铵；三氯化锑，五氯化锑；并且所述液体前驱液中的溶剂是水，醇类，或其混合物。