[实用新型]坩埚保温装置有效
| 申请号: | 201420561788.9 | 申请日: | 2014-09-26 |
| 公开(公告)号: | CN204224745U | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
| 发明(设计)人: | 徐永亮;廖永建 | 申请(专利权)人: | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
| 地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 坩埚 保温 装置 | ||
1.一种坩埚保温装置,用于盖合与所述坩埚保温装置相配合的坩埚(20),其特征在于,所述坩埚保温装置包括:
金属挡板(11),所述金属挡板(11)用于覆盖在所述坩埚(20)的开口处;以及
石墨保温结构(10),所述石墨保温结构(10)设置在所述金属挡板(11)上,所述石墨保温结构的中心位置设置为空心的圆台结构;其中,
所述空心的圆台结构的下端面的直径小于所述空心的圆台结构的上端面的直径。
2.根据权利要求1所述的坩埚保温装置,其特征在于,所述石墨保温结构(10)包括:
下石墨板(12),设置在所述金属挡板(11)上;
保温块(13),所述保温块(13)设置在所述下石墨板(12)上;
上石墨板(14),设置在所述保温块(13)的上方;其中,
所述保温块(13)与所述空心的圆台结构相接的侧面为斜面,所述下石墨板(12)与所述上石墨板(14)相互平行,且所述上石墨板(14)的面积小于所述下石墨板(12)的面积。
3.根据权利要求2所述的坩埚保温装置,其特征在于,所述保温块(13)包括石墨毡,且所述石墨毡设置在所述上石墨板(14)和所述下石墨板(12)之间。
4.根据权利要求2所述的坩埚保温装置,其特征在于,所述保温块(13)的斜面设置有石墨板,所述石墨板覆盖在所述斜面上。
5.根据权利要求1所述的坩埚保温装置,其特征在于,所述金属挡板(11)与所述石墨保温结构(10)之间设置有垫块(17),且所述垫块(17)与所述石墨保温结构(10)之间设置有惰性金属片,其中,
所述垫块(17)用于将所述石墨保温结构(10)与所述金属挡板(11)之间设置一定间隙,且所述石墨保温结构(10)与所述金属挡板(11)之间相互平行设置。
6.根据权利要求5所述的坩埚保温装置,其特征在于,所述垫块(17)包括钨钼,所述惰性金属片包括钽片,所述钽片设置在所述垫块(17)与所述石墨保温结构(10)之间的接触面。
7.根据权利要求1所述的坩埚保温装置,其特征在于,所述金属挡板(11)位于所述坩埚(20)中心的位置设置有贯穿所述金属挡板(11)上表面和下表面的通孔(16)。
8.根据权利要求7所述的坩埚保温装置,其特征在于,所述金属挡板(11)上设置有保护筒(15),所述保护筒(15)为两端设置有开口的中空筒状结构,所述通孔(16)位于所述保护筒(15)的内部,且所述保护筒(15)内的空间连通所述通孔(16)。
9.根据权利要求1所述的坩埚保温装置,其特征在于,所述金属挡板(11)为耐高温金属板,所述耐高温金属板上设置有多个细孔或细缝,且所述耐高温金属板的厚度为1-6mm。
10.根据权利要求8所述的坩埚保温装置,其特征在于,所述保护筒(15)包括钨钼,所述保护筒(15)的高度大于或等于所述石墨保温结构(10)的厚度。
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