[实用新型]真空镀膜装置及真空双面镀膜装置

权利要求书

1.一种金属带材的真空镀膜装置，包括真空镀膜室，其特征在于，所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒(11)和输入夹送辊组(13)，所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒(12)和输出夹送辊组(14)，所述金属带材(100)由所述输入夹送辊组(13)夹持并向前输送，该金属带材(100)经由所述输入端辊筒(11)以及所述输出端辊筒(12)由所述输出夹送辊组(14)夹持并牵引向前，其中，所述输入端辊筒(11)与所述输出端辊筒(12)之间的所述金属带材(100)至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材(100)的悬垂高度的悬垂高度检测装置(104)，所述悬垂高度检测装置(104)位于所述输入端辊筒(11)与所述输出端辊筒(12)之间。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材(100)在其自身宽度方向上的位置偏移的偏移检测装置(6)，所述偏移检测装置(6)设置于所述真空镀膜室与所述输入端辊筒(11)之间或者设置于所述真空镀膜室与所述输出端辊筒(12)之间。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述输出端辊筒(12)能够绕预定枢转中心枢转，以调正所述输入端辊筒(11)与所述输出端辊筒(12)之间的所述金属带材(100)。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述输出端辊筒(12)包括彼此相对的第一辊轴端和第二辊轴端，所述第一辊轴端和所述第二辊轴端分别可枢转地安装，所述真空镀膜装置还包括用于顶推所述第二辊轴端绕所述第一辊轴端的枢转中心枢转的第一顶推机构(300)。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜室包括依次连接的多个真空室，各个所述真空室的端部形成有端盖板，所述端盖板中设有供所述金属带材(100)穿过的通过孔；

其中，所述真空镀膜装置还包括位于所述端盖板的一侧且以所述金属带材(100)为界的下密封座(501)和上密封座(502)，所述下密封座(501)中安装有下固定托辊(39)，所述上密封座(502)中安装有能够相对于所述下固定托辊(39)上下浮动的上浮动辊(38)，所述上浮动辊(38)与所述下固定托辊(39)联动转动，所述上浮动辊(38)与所述上密封座(502)之间形成有上浮动真空密封间隙，所述下固定托辊(39)与所述下密封座(501)之间形成有下真空密封间隙；

所述真空镀膜装置还包括用于密封所述上浮动真空密封间隙的上柔性刮板(5a)以及用于密封所述下真空密封间隙的下柔性刮板(5b)，所述上柔性刮板(5a)的一端安装在所述上密封座(502)上，且另一端抵靠于所述上浮动辊(38)的外周面上，所述下柔性刮板(5b)的一端安装在所述下密封座(501)，且另一端抵靠于所述下固定托辊(39)的外周面上。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述下固定托辊(39)的外周面与所述金属带材(100)相切。

8.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置还包括用于驱动所述上浮动辊(38)上下浮动的驱动缸(514)。

9.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜室包括用于进行镀膜的真空蒸发室(37)以及设置于所述真空蒸发室(37)的输入侧的并且用于预热活化所述金属带材(100)的真空预热活化室(50)。

10.根据权利要求9所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜室还包括分别设置于所述真空蒸发室(37)的输入侧和输出侧的输入端转向室(17a)和输出端转向室(17b)，所述输入转向室(17a)中设置有与所述输入端辊筒(11)平行的输入端转向辊筒(8a)，所述输出端转向室(17b)中设置有与所述输出端辊筒(12)平行的输出端转向辊筒(8b)，所述金属带材(100)经由所述输入端转向辊筒(8a)变向后进入所述真空蒸发室(37)，并且经由所述输出端转向辊筒(8b)变向后输出，所述输入端转向辊筒(8a)与所述输出端转向辊筒(8b)之间的所述金属带材(100)形成为悬链线状态。