[实用新型]原位微纳米压痕/划痕测试仪

权利要求书

1.一种原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：压电叠堆（9）安装在柔性铰链（10）内部凹槽中，通过压电叠堆（9）驱动柔性铰链（10），进而带动载物台（13）实现精密进给完成压痕实验；柔性铰链（10）紧固在连接板a（6）上，所述连接板a（6）安装在精密定位平台a（23）上，通过手柄a（7）带动连接板a（6）从而实现载物台（13）的粗进给；激光位移传感器（22）安装在精密定位平台b（20）上，激光位移传感器（22）通过挡板（5）实现对载物台（13）的位移检测，精密定位平台b（20）紧固在底座（18）上，手柄b（19）、手柄c（21）带动精密定位平台b（20）实现激光位移传感器（22）的微调；精密定位平台a（23）安装在连接板b（8）上，伺服电机（1）驱动涡轮（2）带动蜗杆（3），蜗杆（3）通过紧固螺钉（4）与丝杠（12）连接，丝杠（12）与连接板b（8）相连，伺服电机 （1）安装在底座（18）上，由伺服电机 （1）带动精密导轨滑块（11）进而带动连接板b（8）从而实现载物台（13）横向进给，完成划痕实验。

2.根据权利要求1所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：所述的底座（18）上固定安装二维微位移平台（17），连接板c（16）紧固在二维微位移平台（17）上，精密力传感器（15）紧固在连接板c（16）上，精密力传感器（15）的前端安装金刚石压头（14），通过二维微位移平台（17）调整金刚石压头（14）的高度。

3.根据权利要求2所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：所述的精密力传感器（15）为二维应变片式传感器，可以同时测量横向力和纵向力，二维力传感器和柔性铰链串联；所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪分别设计粗进给和精密进给机构，粗进给由伺服电机驱动，精密进给由压电叠堆驱动柔性铰链进行。

4.根据权利要求1或2或3所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪的总体尺寸为178mm×165 mm×80mm。

5.根据权利要求1或2或3所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪置于扫描电子显微镜SEM、透射电子显微镜TEM下进行实时观测。