[实用新型]一种基于宽带慢波系统的多路分波器

权利要求书

1.一种基于宽带慢波系统的多路分波器，包括介质板（2）及其上薄的金属-绝缘体-金属（MIM）光栅结构，其特征在于：所述MIM光栅结构由内侧刻蚀周期矩形或者梯形凹槽（6）的两个金属光栅结构（3、4）和绝缘体（5）组成，金属光栅结构（3、4）厚度小于百分之一工作波长，金属光栅结构中的所述凹槽（6）的形状是：一条横向长直凹槽与多条垂直等距分布的长度逐渐变化的纵向短直凹槽垂直相交构成，凹槽深度、宽度和周期等几何参数渐变。

2.根据权利要求书1所述的基于宽带慢波系统的多路分波器，其特征在于：在若干所述纵向短直凹槽末端引入不同长度的短截线分支结构（7、8、9、10），该分支结构由介质板（2）延伸出凸极中间刻蚀纵向短直凹槽的延长槽而形成两片金属和延长槽中的绝缘体（5）组成，其长度（L₁、L₂、L₃、L₄）从凹槽末端开始计算应为该分支波导波长λ_g的四分之一的奇数倍。

3.根据权利要求书2所述的基于宽带慢波系统的多路分波器，其特征在于：为增加各短截线分支间的隔离度，可在所述短截线分支延长槽的前端引入滤波器（11、12），该滤波器（11、12）由深和浅一对与所述延长槽垂直相交的凹槽复合组成。