[实用新型]一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置

权利要求书

1.一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，该装置包括：设置于扫描电子显微镜样品室内的法拉第杯，贯穿有两个电极的扫描电子显微镜样品室隔板，高灵敏度电流表，法拉第杯与样品室隔板上的电极通过镀有陶瓷的导线连接，样品室隔板上的电极与电流表通过镀有陶瓷的导线连接。

2.如权利要求1所述的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于所述法拉第杯包括：金属杯体、从下至上依次设置于杯体内的绝缘层、金属电极层和两层金属栅网层，其中金属电极层、两层金属栅网层、金属杯体各引出一电极。

3.如权利要求1所述的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于所述样品室隔板的两个电极与金属隔板之间采用陶瓷作为绝缘材料。