[实用新型]一种金属有机源加料装置有效
| 申请号： | 201420531279.1 | 申请日： | 2014-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN204080103U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 刘祥林 | 申请（专利权）人： | 刘祥林 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448 |
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| 地址： | 100083 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属 有机 加料 装置 | ||
1.一种金属有机源加料装置，其特征在于：该装置中有一个储料瓶(11)，储料瓶(11)正立，瓶口朝上；储料瓶有4个瓶口，分别为：加料口(1)、回气口(2)、载气入口(3)、载气出口(4)；加料口(1)和载气出口(4)在储料瓶(11)的顶部；回气口(2)通过一根管道插入储料瓶(11)的中部；载气入口(3)通过一根管道插入储料瓶(11)的底部；原料瓶(12)有2个瓶口，分别为进口(10)和出口(9)；出口(9)在原料瓶(12)的顶部，进口(10)通过一根管道插入原料瓶(12)的底部；原料瓶(12)倒立，瓶口朝下，放在储料瓶(11)的上部；原料瓶(12)的出口(9)通过一根管道与储料瓶(11)的加料口(1)相连，原料瓶(12)的进口(10)通过一根管道与储料瓶(11)的回气口(2)相连；储料瓶(11)的载气入口(3)通过一根管道与流量控制器相连；储料瓶的载气出口(4)通过一根管道与压强控制器相连；在原料瓶(12)的出口(9)与储料瓶(11)的加料口(1)之间，以及在原料瓶(12)的进口(10)和储料瓶(11)的回气口(2)之间，各加1个加料阀门(5)。
2.如权利要求1所述的一种金属有机源加料装置，其特征在于：该装置可以在储料瓶(11)的4个瓶口上各加1个储料瓶阀门(6)；也可以在原料瓶(12)的2个瓶口上各加1个原料瓶阀门(7)。
3.如权利要求1所述的一种金属有机源加料装置，其特征在于：该装置可以在原料瓶(12)的进口(10)和出口(9)上各加1个抽气阀(8)。
4.如权利要求1所述的一种金属有机源加料装置，其特征在于：1个原料瓶(12)可以同时接多个储料瓶(11)。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
