[实用新型]一种电子束扩散截面修整装置

权利要求书

1.一种电子束扩散截面修整装置，包括包含两组永磁铁,第一组永磁铁包含四个磁极，该四个磁极成对固定在上、下磁轭上，相对及相邻磁极极性相反，这四个磁极构成的磁场将电子束在纵向拉伸、横向压缩，使得电子束扩散为近似椭圆形；第二组永磁铁包含有八个磁极，八个磁极成对固定在上、下、左、右磁轭上，相对及相邻磁极极性相反，这八个磁极构成的磁场对散开的电子束团边缘进行修整形成近似矩形；

其特征在于，还包括四个纵向调位连接机构，第一组永磁铁的上、下磁轭两端分别通过一个纵向调位连接机构安装于左、右磁轭上，第二组永磁铁的上、下磁轭两端分别通过一个纵向调位连接机构安装于左、右磁轭上，通过操作四个纵向调位连接机构，使得第一组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动，对近似椭圆形的电子束进行首次纵向压缩，以及使得第二组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动，对近似矩形的电子束再次纵向压缩，反复纵向压缩操作直到电子束团纵向尺寸被压缩逼近至80mm。

2.根据权利要求1所述的一种电子束扩散截面修整装置，其特征在于，还包括放置在同侧磁轭相邻磁极间的支撑垫块，用于防止两相邻磁极由于极性相反相互吸引，导致磁极向中间偏移角度。

3.根据权利要求1所述的一种电子束扩散截面修整装置，其特征在于，还包括：

用于将第一组永磁铁的四磁轭连接形成的四个角点和第二组永磁铁的四磁轭连接形成的四个角点一一对应连接的四根滑杆，其中一组永磁体相对滑杆固定，另一组永磁铁可沿滑杆上下移动，以此调整一组永磁铁与第二组永磁铁之间间距；以及

用于固定第一组永磁铁与第二组永磁铁之间间距的双螺母螺杆锁紧机构。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种电子束扩散截面修整装置，其特征在于，所述磁轭表面加工有与磁极端面尺寸过盈配合的安装槽，用于放置磁极，通过磁极本身对磁轭的吸力对其初步固定，并通过铝合金固定架的方式将其进一步紧固。

5.根据权利要求4所述的一种电子束扩散截面修整装置，其特征在于，还包括放置于安装槽与磁极之间的垫片。

6.根据权利要求1或2或3所述的一种电子束扩散截面修整装置，其特征在于，所述纵向调位连接机构的实现方式为：在左或右磁轭上开设有上、下条状通孔，用于放置上、下磁轭的端部，通过螺钉固定磁轭于通孔内，通孔壁上标有刻度以通过游标卡尺确定上、下磁轭位置。