[实用新型]具有实时控制机制的喷涂装置

说明书

技术领域

本实用新型关于一种喷涂装置，特别关于一种在半导体制程中用于进行喷涂制程，并且能够根据经过阀体的喷涂材料量实时地调整其所施配的喷涂材料量的具有实时控制机制的喷涂装置。

背景技术

喷涂装置为在半导体制程中经常使用的装置，其主要功能用于将一喷涂材料喷洒至半导体中的晶圆上，以进行半导体制程中的喷涂制程。现有的喷涂装置主要包括用于容置喷涂材料的储料容器、将喷涂材料添加置储料容器中的加料装置，以及用于将喷涂材料喷出至晶圆上的均匀喷涂组件。

在进行喷涂制程时，由于每个批次(run-to-run)结束后喷涂装置的参数皆会改变，因此，一般来说业界中会针对每个批次的执行状况，例如在每个批次中喷涂装置所喷洒的喷涂材料量进行量测，以在喷涂装置执行下个批次的喷涂制程前进行相对应参数的调整，以维持喷涂制程的质量。现有的喷涂装置仅能在各个批次结束后才能将所量测的信息回馈给计算机主机，而计算机主机也必须等待各个批次结束收到量测信息后才能进行相对应的计算，并将相对应的控制命令传送给其它组件，因此，上述的作业方式拉长了现有的喷涂装置在各个喷涂制程中的运作时间；有些现有的喷涂装置甚至只有监控的功能，无法进行自动回馈控制。另外，在现有的喷涂装置中，必须以人工的方式先将喷涂材料以正确的比例混合完成后再补充至加料装置中，使得喷涂材料的补充过程较耗时耗力，导致产量降低。

实用新型内容

基于上述理由，本实用新型的目的在于提供一种具有实时控制机制的喷涂装置，其可以对流经均匀喷涂组件的喷涂材料量进行监控并且及时将监控信息回馈给控制器，以调整喷涂装置所施配的喷涂材料量。

本实用新型的另一目的在于提供一种喷涂装置，其具有一自动定量连续加料装置，能够大幅节省替换喷涂材料的时间，藉此提高产量。

本实用新型的再一目的在于提供一种喷涂装置，其中的均匀喷涂组件具有可替换针头的设计，藉此增加喷涂的变化度以及维修时的方便性。

为达成前述目的，本实用新型提供一种具有实时控制机制的喷涂装置，其包括：一储料容器、一自动定量连续加料装置、一均匀喷涂组件、一调压器以及至少一传感器。所述储料容器具有一输出端以及一输入端。所述自动定量连续加料装置经由一加料管路连接于储料容器的输入端，用以将一喷涂材料添加至储料容器中。所述均匀喷涂组件经由一进料管路与储料容器的输出端连接，藉此将储料容器中的喷涂材料喷出。所述调压器经由一加压管路与储料容器的输入端连接。加压管路中设置有一控制器，调压器将一气体源所供应的一气体经由加压管路以及控制器输送至储料容器中，以对储料容器中的喷涂材料加压。所述至少一传感器用以量测该喷涂装置中输送的该喷涂材料的一物理量。其中，至少一传感器将所量测的物理量的信息传送给控制器，控制器根据至少一传感器所回馈的信息实时地调整对储料容器中的喷涂材料所施加的压力。

根据本实用新型的一实施例，喷涂装置进一步包括一循环机制。循环机制包括：一回流管路，其两端分别连接于均匀喷涂组件以及储料容器；以及一供料装置，与回流管路连接，用以将残余在均匀喷涂组件中的喷涂材料从均匀喷涂组件经由回流管路送回至储料容器中。

根据本实用新型的一实施例，喷涂装置进一步包括一第一传感器。第一传感器可以设置于进料管路中，用以量测从储料容器输送至均匀喷涂组件的喷涂材料的物理量；或者，第一传感器可以设置于回流管路中，用以量测循环机制所回收的喷涂材料的物理量。

根据本实用新型的一实施例，喷涂装置进一步包括一第一传感器以及一第二传感器。第一传感器设置于进料管路中，用以量测从该储料容器输送至该均匀喷涂组件的该喷涂材料的物理量。第二传感器设置于回流管路中，用以量测该循环机制所回收的喷涂材料的物理量。

根据本实用新型的一实施例，所述自动定量连续加料装置包括：一混料单元以及一溶剂供给单元。所述混料单元透过一螺杆阀连接至储料容器的输入端，藉此将一原料经由螺杆阀输送至储料容器中。所述溶剂供给单元透过一质流量控制器连接至储料容器的输入端，用以将一溶剂经由质流量控制器供给至储料容器中。其中，储料容器中设置有一储料容器搅拌装置，储料容器透过储料容器搅拌装置将原料以及溶剂均匀搅拌混合成为喷涂材料。较佳地，混料单元中设置有一混料单元搅拌装置，以将原料在混料单元中搅拌均匀。