[实用新型]基于超材料的毫米波单谱信号探测器

权利要求书

1.一种基于超材料的毫米波单谱信号探测器，包括衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层、超材料层、欧姆电极和一对肖特基电极，其特征在于，N型砷化镓层形成在衬底层上面，二氧化硅层设置于N型砷化镓层上面，超材料层设置于N型砷化镓层上面，欧姆电极设置于N型砷化镓层上面，肖特基电极设置于二氧化硅层上面，欧姆电极和一对肖特基电极分别设置于超材料层的左右两端，超材料层为具有周期性微纳米结构的金属层，以完全吸收毫米波。 

2.根据权利要求1所述的毫米波单谱信号探测器，其特征在于，超材料层为具有周期性微纳米结构的金属层，且与N型砷化镓层形成肖特基接触。 

3.根据权利要求1所述的毫米波单谱信号探测器，其特征在于，衬底层为半绝缘砷化镓、硅、或三氧化二铝。