[实用新型]一种侧立镜组有效
| 申请号: | 201420515620.4 | 申请日: | 2014-09-09 |
| 公开(公告)号: | CN204154983U | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
| 发明(设计)人: | 马晓晴;夏洪发 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
| 地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 侧立镜组 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种侧立镜组。
背景技术
高精密光学镜头的加工和制造是一个非常复杂的过程,随着对光学系统成像质量要求越来越高,不仅光路越来越复杂,光学元件越来越多,而且要求光学元件有微米级的定位精度,同时还需要保持十纳米级的面型精度。
在折反射型镜头中,光轴除了有竖直走向,还有水平走向,即光学元件除了水平安装,还需侧立安装。重力对水平放置的光学元件的作用与对侧立放置的光学元件的作用完全不同,当光学元件直径较大(大于200mm)时,镜片重力的作用不能忽视,装夹方式必须考虑重力因素,而此时水平安装的装夹方式往往不再适用于侧立安装。水平安装的镜片常采用周围点胶的方式固定,光学元件胶接在镜框上,但这种方式在侧立安装的情况下,面型较差,往往达到几百纳米的面型变化。
一种常用的光学元件侧立安装方法是V型固定法,即下侧水平对称的两点支撑镜片,效果如V型块,上侧有一点安全挡块。这种方式光学元件重力主要作用在下侧两点上,造成应力集中,面型变化较大。装夹方式对镜片产生的应力将直接影响镜片面型,为了得到较高的面型精度,常采用无应力安装方法。
一种光学元件无应力侧立安装方法是条带法,即将光学元件放置在条带上,光学元件外圆下侧与条带吻合,实现均匀的柔性支撑,面型变化较小。考虑到实际工程中会遇到搬运、震动等因素,这种安装结构往往适用于试验,不利于工程化。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种侧立镜组,以实现折反射型镜头中,大口径镜片侧立安装后具有十纳米级高面型精度,并且具有工程性。
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种侧立镜组,包括:镜框、侧立镜片、多个弹性支撑元件,所述多个弹性支撑元件穿越所述镜框,支撑于所述侧立镜片的下侧,所述侧立镜片与所述镜框不接触。
优选的,在上述一种侧立镜组中,还包括调整压圈,所述调整压圈安装在所述多个弹性支撑元件与所述镜框之间。
优选的,在上述一种侧立镜组中,所述镜框上设置有多组胶接孔。
优选的,在上述一种侧立镜组中,所述多组胶接孔为4组,其中2组水平均匀分布在所述镜框上,另2组垂直分布在所述镜框上,每组胶接孔包括两个胶接孔,所述每组两个胶接孔到所述镜框中心的连线所形成的夹角相等。
优选的,在上述一种侧立镜组中,所述每组两个胶接孔到所述镜框中心的连线所形成的夹角在10到20度之间。
优选的,在上述一种侧立镜组中,所述镜框上设置有多个硬限位孔。
优选的,在上述一种侧立镜组中,所述多个硬限位孔为4个,所述硬限位孔根据所述侧立镜片的侧立轴垂向对称分布于所述镜框外侧。
优选的,在上述一种侧立镜组中,每个所述硬限位孔和所述镜框中心的连线与所述侧立镜片的侧立轴竖直中心线形成的夹角相等。
优选的,在上述一种侧立镜组中,硬限位孔与所述侧立镜片的侧立轴中心线形成的夹角在25到50度之间。
优选的,在上述一种侧立镜组中,所述多个弹性支撑元件根据所述侧立镜片的侧立轴垂向对称且等间隔分布。
优选的,在上述一种侧立镜组中,每相邻两个所述弹性支撑元件到所述侧立镜片中心的连线所形成的夹角相等
优选的,在上述一种侧立镜组中,每相邻两个所述弹性支撑元件到所述镜片中心的连线所形成的所述夹角在10到20度之间。
本实用新型提供的侧立镜组,通过设置镜框、侧立镜片、多个弹性支撑元件,所述多个弹性支撑元件穿越所述镜框,支撑于所述侧立镜片的下侧,所述侧立镜片与所述镜框不接触。多点支撑可分散受力,避免应力集中,可以得到较好的面型精度。
进一步的,用胶连接固定侧立镜片和镜框,并且设置有硬限位,防止运输震动对侧立镜片中心位置的影响,提高了镜组的稳定性,有利于实现装置的工程化。
附图说明
图1是本实用新型侧立镜组的右前侧视图;
图2是本实用新型侧立镜组的前方侧视图;
图3是本实用新型侧立镜组的侧面剖视图;
图4是本实用新型侧立镜组的正面剖视图;
图5是本实用新型侧立镜组中弹性支撑元件的结构图;
图6是本实用新型侧立镜组中硬限位位置示意图;
图中:1-镜框;2-侧立镜片;3-弹性支撑元件;4-调整压圈;5-硬限位球面螺钉;6-硬限位孔;7-胶接孔;8-弹性支撑元件安装处。
具体实施方式
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