[实用新型]一种硅棒抛光装置

权利要求书

1.一种硅棒抛光装置，包括驱动机构(1)和砂轮(2)，所述砂轮(2)螺接在驱动机构(1)的驱动轴上；其特征在于，还包括防护罩(3)和冷水箱(4)，所述防护罩(3)为环形，其内部设置有冷却槽(301)，所述冷却槽(301)内侧设有喷水孔(302)，所述防护罩(3)固定在驱动机构(1)上；所述冷水箱(4)通过管道与冷却槽(301)连通；所述砂轮(2)为金刚石砂轮。

2.如权利要求1所述的硅棒抛光装置，其特征在于，所述防护罩(3)为截面呈“凹”形的环形防护罩，所述防护罩(3)端面内径不大于砂轮直径。

3.如权利要求1所述的硅棒抛光装置，其特征在于，所述防护罩(3)通过螺栓固定在驱动机构(1)上。

4.如权利要求1所述的硅棒抛光装置，其特征在于，所述喷水孔(302)均匀设置在冷却槽(301)内侧。

5.如权利要求1所述的硅棒抛光装置，其特征在于，所述防护罩(3)为金属防护罩。

6.如权利要求1-5任一项所述的硅棒抛光装置，其特征在于，所述防护罩(3)底端设置有供冷却水流出的开口。