[实用新型]一种多晶铸锭炉有效
申请号: | 201420492958.2 | 申请日: | 2014-08-28 |
公开(公告)号: | CN204111919U | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 黄贤强;何建军;沈达军;杨红伟;张志杰;付龙;肖余琴 | 申请(专利权)人: | 浙江溢闳光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(普通合伙) 33243 | 代理人: | 张向飞 |
地址: | 314302 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 | ||
技术领域
本实用新型属于太阳电池制造技术领域,涉及一种多晶铸锭炉。
背景技术
多晶硅铸锭炉的工作原理:将多晶硅料装入有涂层的坩埚内放在定向凝固块上;关闭炉镗后抽真空,加热待硅料完全熔化后,隔热笼缓慢往上提升,通过定向凝固块将硅料结晶时释放的热量辐射到下炉腔内壁上,使硅料中形成一个竖直温度梯度。这个温度梯度使坩埚内的硅液从底部开始凝固,从熔体底部向顶部生长。硅料凝固后,硅锭经过退火、冷却后出炉完成整个铸锭过程。热场是多晶硅铸钻炉的心心脏,其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅工艺生产过程必须通过加热室的调整来实现,因此,多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得至关重要。
现有的多晶铸锭炉主要包括炉体,炉体包括下腔室炉壁和上腔室炉壁,下腔室炉壁上设置循环水装置,下腔室炉壁的内底固定连接三个立柱安装件;炉体内设置坩埚,坩埚外设置护板和底板,护板上设置溢流孔,底板与护板的下端固定连接,底板上连接三根立柱,每根立柱的上端直径小于下端直径,在底板上方设置保温板,三根立柱分别穿置在保温板上,每根立柱的下端分别插置在相应的立柱安装件内。
现如今多晶铸锭炉热场的改动,投料量的加大,随之产生的漏硅风险也加大。坩埚一般为石英坩埚,一般铸锭炉高温(1540℃)运行过程中坩埚会出现溢流或裂纹,坩埚内的硅液会沿着坩埚边缘流下滴到不锈钢炉壁上,高温的硅液直接烧穿炉壁,接触循环水造成漏水事故,水漏产生H2和O2,易发生爆炸。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种隔热笼可升降、安全性高的多晶铸锭炉。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种多晶铸锭炉,包括炉盖、具有炉腔的炉体以及设在炉腔内的坩埚,其特征在于,所述坩埚下方设有与其相连的石墨冷却块,所述坩埚外包裹有密封的隔热笼,所述隔热笼内表面粘贴有石墨纸,所述石墨冷却块下方设有三根立柱,所述立柱穿出隔热笼与支撑隔热笼的升降杆相固连,所述炉体底部设有贯穿的套筒,所述套筒与炉体相焊接固连,所述升降杆穿过套筒并可沿着套筒上下滑动,所述升降杆下端与升降平台相连,所述升降平台由设置在其下方的抬升气缸推动,所述炉体的内侧面设有石棉毡。
隔热笼内表面设置有石墨纸,石墨纸的表面光滑,对红外热辐射有很好的反射作用,减小了炉内热量的散失,提高了隔热笼的保温隔热能力,进而减少硅锭生产过程中的能耗,提高了能源利用率。石棉毡既可以保温,也可以吸收溢流而出的硅液,防止硅液腐蚀不锈钢的炉壁。隔热笼可以在炉腔内上下升降,方便打开炉盖后放料或取料。
在上述的多晶铸锭炉中,所述炉体外设有支撑炉体的若干支脚,所述支脚与地面相抵靠。
在上述的多晶铸锭炉中,所述隔热笼由顶隔热板、侧隔热板和底隔热板组成。
在上述的多晶铸锭炉中,所述底隔热板上开有溢流孔。溢流孔可以很好地疏导硅液作用,防止硅液破坏底隔热板
在上述的多晶铸锭炉中,所述套筒下端设有套筒座,所述套筒座与地面相抵靠。套筒座支撑套筒,同时也起到固定套筒的作用,防止升降杆将套筒挤压倾斜。
在上述的多晶铸锭炉中,所述石棉毡为硅酸铝石棉材料。硅酸铝石棉的耐火性能好于石棉,适用于高温隔热;主要用在防火保温。
在上述的多晶铸锭炉中,所述石棉毡的厚度为2cm~3cm。
与现有技术相比,本多晶铸锭炉具有以下优点:
1.隔热笼可升降,方便放料和取料,也可以将整个隔热笼及坩埚取出,方便更换石棉毡。
2.石墨纸提高了隔热笼的保温隔热能力。
3.炉腔内设有石棉毡,提高安全性能,可吸收坩埚溢流出来的硅液,防止安全事故发生。
附图说明
图1是本实用新型多晶铸锭炉的结构示意图。
图中,1、炉盖;2、炉体;3、炉腔;4、坩埚;5、顶隔热板;6、侧隔热板;7、底隔热板;8、石墨冷却块;9、石墨纸;10、立柱;11、升降杆;12、套筒;13、升降平台;14、抬升气缸;15、石棉毡;16、支脚;17、溢流孔;18、套筒座。
具体实施方式
以下是本实用新型的具体实施例并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步的描述,但本实用新型并不限于这些实施例。
如图1所示,本多晶铸锭炉包括炉盖1、具有炉腔3的炉体2以及设在炉腔3内的坩埚4,打开炉盖1,可以将硅料放入坩埚4内,也可以将炉体2内的坩埚4取出,清洗炉腔3。炉体2外设有支撑炉体2的若干支脚16,支脚16与地面相抵靠。
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