[实用新型]一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器

权利要求书

1.一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器，所述氟磷反应器包括反应罐和氟气缓冲罐，其特征在于：所述氟气缓冲罐包括第一缓冲罐、第二缓冲罐和第三缓冲罐，所述第一缓冲罐上连接有氟气输入管，所述第一缓冲罐与所述第二缓冲罐、所述第二缓冲罐与所述第三缓冲罐、所述第三缓冲罐与所述反应罐之间通过连接管固定连接，所述反应罐上设置有五氟化磷输出管，所述五氟化磷输出管通过回流管连接所述氟气输入管，所述五氟化磷输出管与所述回流管之间设置有分流阀；所述反应罐的顶面上设置有加磷料仓，所述加磷料仓通过支撑管固定连接在所述反应罐上，所述反应罐的侧面上设置有第一入口管和第一出口管，所述第一入口管与所述连接管相匹配，所述第一出口管与所述五氟化磷输出管相匹配，所述反应罐内设置有磷粉分配槽、通气管和反应装置，所述通气管位于所述第一入口管和所述第一出口管之间，所述反应装置包括反应管、储气管、气体分配球和防堵阀门，所述反应管位于所述气体分配球和所述防堵阀门之间，所述储气管位于所述反应管的两侧，所述反应装置通过转换器固定连接在所述通气管上，所述磷粉分配槽通过输磷管连接所述转换器。

2.根据权利要求1所述的一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器，其特征在于：所述第一缓冲罐、所述第二缓冲罐和所述第三缓冲罐均包括壳体，所述壳体的顶部设置有第二入口管，所述壳体的底部设置有第二出口管，所述壳体的内部设置有气体分布器，所述壳体的侧面上设置有检测器。

3.根据权利要求2所述的一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器，其特征在于：所述气体分布器内设置有气体分配盘，两个所述气体分配盘之间设置有分配管。

4.根据权利要求1所述的一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器，其特征在于：所述分流阀内设置有容气腔、分流口和输出口，所述分流口与所述回流管相匹配，所述输出口与所述五氟化磷输出管相匹配。

5.根据权利要求4所述的一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器，其特征在于：所述分流阀的侧面上设置有调节旋钮，所述容气腔内设置有阀板，所述调节旋钮控制所述阀板的开关。

6.根据权利要求1所述的一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器，其特征在于：所述反应罐的侧面上设置有测温口。

7.根据权利要求1所述的一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器，其特征在于：所述第一缓冲罐、所述第二缓冲罐与所述第三缓冲罐之间相互串联。