[实用新型]适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及曝光机使用技术领域，尤其涉及一种适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置。 

背景技术

在批量生产印制电路板过程中，是经过紫外线曝光，使所需的电路图形通过菲林转移到工件上，如果菲林和工件间有间隙或气泡，就会引起图形失真，造成曝光不良，为此数十年来，行业内都是采用抽真空形成负压，使玻璃受压或变形来达到菲林和工件的贴合，但始终存在如下的问题：1、抽真空的时间过长，使生产效率变低；2、由于贴有菲林的玻璃易碎，所以真空度不能过高，这就使得变形应力较大的工件与菲林不能形成良好的贴合，另外，必需用不同的垫片(对不同的工件)去填平真空腔的其余部分，以避免玻璃不被抽爆，费时费工，不适应自动化生产；3、由于工件的上下两面同时与高刚性的平台和玻璃接触，玻璃本身(与工件接触面)和铝合金平台的不平和凹陷就会造成贴合不良，也很难通过调节真空度来改善贴合的均匀度。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，该运用在影像转移曝光机的菲林与工件密着 方法可以在吹气条件下使得影像转移曝光机中的菲林和工件紧密贴合，避免将玻璃板压碎，吹气时间短，吹气的气压可以无限制增大，生产效率高，自动化程度高。 

为解决抽真空密着存在的上述技术问题，本实用新型提供的适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置包括包括装置本体、容置于所述装置本体中的控制组件、菲林、多孔材料介质层、装设于所述装置本体上的玻璃板，工件放置在所述多孔材料介质层的上表面，在多孔材料介质层的下部设置有与所述多孔材料介质层紧密贴合的平台，所述平台与空气泵相连，在玻璃板上部设置有第一驱动机构，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，所述平台与空气泵相连，在所述平台下部设置有调整所述工件与菲林之间距离和平行度的第二驱动机构，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，所述的多孔材料介质层上开设有若干分布均匀贯穿于上下两端面的细微小孔，通过对所述平台的充气使其在所述多孔材料介质层表面形成均匀的浮压力，迫使所述工件与菲林紧密贴合。 

优选地，所述第二驱动机构包括四个可单独升降并用于调整所述工件与平之间距离与平行度的电缸及三个激光位移传感器，各所述升降的电缸设置于所述平台下部。 

优选地，所述适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置还包括用于将所述工件抓取放置或移出所述平台上表面的机械手。 

优选地，所述多孔材料介质层由陶瓷或铝金属材料组成，空气能从其分布均匀的细微小孔形成气浮和吸附。 

优选地，所述第一驱动机构采用伺服控制，所述玻璃板可相对于所述装置本体沿X、Y移动及圆周转动。 

优选地，所述第一驱动机构包括机构本体、容置于所述机构本体内的控制组件、装设于所述机构本体上的X轴丝杆、与所述X轴丝杆装配在一起的X轴丝杆座、装设于所述X轴丝杆座上的Y轴丝杆、与所述Y轴丝杆装配在一起Y轴丝杆座、装设于所述Y轴丝杆座上用于驱动所述玻璃板做圆周转动的第三伺服电机，用于驱动所述X轴丝杆转动的第一伺服电机、用于驱动所述Y轴丝杆转动的第二伺服电机、所述玻璃板与所述第三伺服电机装配在一起。 

优选地，所述平台的下端面开设有一进气口，其上端面开设有若干与所述细微小孔相对应的气孔，所述进气口与各所述气孔连通，所述进气口与所述空气泵相连。 

优选地，所述空气泵对所述工件的吹气压力可无限增大。 

采用上述结构之后，将所述菲林贴好在所述玻璃板下表面，机械手将所述工件放置在所述多孔材料介质层上部，所述平台先移动到玻璃板下方的位置，CCD摄像头检测工件与菲林的位置是否初步对准；CCD摄像头对所述工件的四个定位孔与菲林的靶标进行找正，通过第一驱动装置驱动所述玻璃板进行X、Y轴移动及圆周转动，同时所述第二驱动装置驱动所述平台的上下移动，调整所述工件与所述菲林的间距，实现所述菲林与所述工件的准确对位，所述空气泵吹气，通过所述细微小孔对所述工件进行吹气，所产生的均匀气浮压力使所述工件与菲林紧密贴合，检测所述工件与所述菲林是否贴合到位，如 果贴合到位，紫外光开始曝光，将所述菲林上面的影像转移到所述工件上。该密着方法的优点是： 

1、该密着方法形成气浮正压力的时间较形成真空负压时间缩短数倍，能显著提高生产效率； 

2、贴合的正压力可以无限制增大，并且可分别通过支撑平台的四个电缸的升降来调节工件与菲林间距的一致性，以改善贴合的均匀性； 

3、由于密着时，工件与平台无接触，且是柔性工件变形去适应玻璃，所以平台和玻璃的凹陷等对贴合效果影响较小；