[实用新型]一种掩模板

权利要求书

1.一种用于成膜的掩模板，包括第一膜层和第二膜层，所述第二膜层覆叠在所述第一膜层上，其特征在于，所述第一膜层采用无纺布或陶瓷板，所述第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。

2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一膜层和所述第二膜层的材质密度均小于8.1g/cm³，膨胀系数均小于1.2×10^-6/℃，热传导系数均小于10W/m·k。

3.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述无纺布的耐受温度范围为400℃以内，所述陶瓷板的耐受温度范围为1400℃以内。

4.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述无纺布采用聚酰亚胺纤维、聚苯硫醚纤维、热塑性弹性体纤维、热塑性聚烯烃纤维、热熔接性复合纤维、麻纤维、粘结纤维、银纤维、环氧类化合物的聚乳酸纤维、碳纤维、烯烃系聚合物、涤纶化纤、锦纶化纤、粘胶化纤、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纤维、芳香族聚酯、棉纤维和丝纤维中的任意一种材料。

5.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第二膜层的厚度范围为1-1000μm。

6.根据权利要求5所述的掩模板，其特征在于，还包括覆叠在所述第二膜层上的第三膜层，所述第三膜层采用UV固化胶或热固化胶。

7.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板上设置有镂空的成膜图案，对应在所述成膜图案的边缘，所述第三膜层完全包覆所述第一膜层和所述第二膜层。

8.根据权利要求7所述的掩模板，其特征在于，所述第三膜层的厚度范围为50-3000μm。

9.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述热固化胶的固化温度范围为10℃-200℃。

10.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，还包括粘贴层，所述粘贴层设置在所述第一膜层的背对所述第二膜层的一侧，且位于所述第一膜层的边缘。