[实用新型]一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置

权利要求书

1.一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，该装置包括晶圆、激光、激光保护板和底光、对中台、校正玻璃板、十字薄膜、相机保护板、工业相机、电脑显示屏、ROBOT搬运手，其中校正玻璃板正面贴黑色即时贴，中间开窗标示涂黑位置，手工在底面45度涂满单层黑色，十字薄膜为打印有十字对中线的薄膜，其特征是：工业相机安装在对中台上方，激光安装在对中台下方，激光保护板和底光安装在激光和对中台之间，相机保护板安装在工业相机和对中台之间，ROBOT搬运手安装在对中台前方，电脑显示屏放置在对中台外侧，十字薄膜粘贴在电脑显示屏上，晶圆和校正玻璃板分别放置在对中台上。

2.根据权利要求书1所述的一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，其特征是：激光在校正玻璃板的涂黑上刻划十字，工业相机捕捉该十字的图像，计算工业相机与激光之间的系统偏差，输送给激光，自动校正激光图像与相机安装的系统偏差。

3.根据权利要求书1所述的一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，其特征是：目测电脑屏幕，检查十字薄膜上的十字和校正玻璃板背刻的图像这两个十字的重合情况，直观的观测补偿的效果。