[实用新型]一种激光干涉探头

权利要求书

1.一种激光干涉探头，包括耦合单元、两路干涉光探测器和干涉单元，其特征在于：所述干涉单元包括一具有NPBS膜的双斜方棱镜和探测反射面；所述双斜方棱镜的粘合面镀NPBS膜，与该NPBS膜面平行的两侧面均为高反射面，两高反射面之间的侧面分别为入射面和出射面；所述耦合单元包括至少三个端口，端口一为入射端，端口二通过一准直器与双斜方棱镜的入射面连接；端口三与第二干涉光探测器连接；所述第一干涉光探测器设于双斜方棱镜入射面下方的干涉光出射面上；入射光经耦合单元的端口一入射之后，由端口二输出并经准直器准直入射到双斜方棱镜的NPBS膜面，经NPBS膜面分成透射光和反射光,分别入射到探测反射面后反射回NPBS膜面分成两路干涉光，一路沿准直器返回耦合单元并经端口三入射到第二干涉光探测器，一路直接入射到第一干涉光探测器。

2.如权利要求1所述激光干涉探头，其特征在于：所述探测反射面为一平面反射镜或一角锥棱镜，或者是一平面反射镜与一角锥棱镜的组合。

3.如权利要求2所述激光干涉探头，其特征在于：所述平面反射镜和角锥棱镜位置固定或可移动。

4.如权利要求1所述激光干涉探头，其特征在于：所述准直器通过一球关节结构与双斜方棱镜连接。

5.如权利要求1所述激光干涉探头，其特征在于：所述准直器、双斜方棱镜和第一干涉光探测器粘接于一平板上，通过平板的固定孔锁定安装。

6.如权利要求1所述激光干涉探头，其特征在于：所述耦合单元为一三端口环行器。

7.如权利要求1所述激光干涉探头，其特征在于：所述耦合单元为一四端口耦合器，该四端口耦合器包括一对具有光分束片的双光纤准直器，端口一为入射端，端口二通过一准直器与双斜方棱镜的入射面连接；端口三与第二干涉光探测器连接，端口四与一入射光监视器连接。

8.如权利要求7所述激光干涉探头，其特征在于：所述入射光监视器、第一干涉光探测器和第二干涉光探测器均为PD。