[实用新型]一种蓝宝石表面检测仪主体结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光电子信息技术领域，尤其涉及一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构。

背景技术

第三代半导体材料氮化镓(GaN)基发光半导体(LED)由于具有响应速度快、寿命长、耐冲击、抗震、高效节能等优异特性，在银行、体育场、机场、车站以及室内外广告牌等领域的显示设备中，具有广阔的市场应用前景：尤其是在这些领域最常用到的大屏幕动态显示器中，它是最关键的器件之一。此外，GaN基蓝、绿光LED还可以用于家电和信息数码设备，如计算机和手机等的状态显示和背景照明等消费电子领域。其制作的白色固态光源体积小、重量轻、寿命长，掀起了照明领域新一轮的革命。然而为了使氮化镓在蓝宝石衬底上均匀生长，对蓝宝石衬底的机械参数，包括厚度、弯曲度、翘曲度、表面平整度等等参数的要求都非常高。但是在生产过程中，而达成这一要求则离不开高精度、高效率的表面检测仪器。

传统的蓝宝石表面检测仪器的主体结构由两大部分构成。第一部分为带动整个测量盘的前后运动机构，第二部分为测量盘的自转机构。而带动整个测量盘前后运动的机构所采用的方法是手轮转动带动手轮上的斜齿轮转动，斜齿轮的转动带动与之相啮合的斜齿条的前后运动，斜齿条的前后运动带动固定斜齿条的燕尾基座的前后运动，基座上设有测量盘。从而实现测量盘的前后方向的运动。但是这种结构存在前后运动行程有限，尤其是转动的小手轮的效率很低，对大尺寸的蓝宝石尤其是还固定在陶瓷盘上的蓝宝石的检测带来困难，同时这种机构对机械加工的精度要求也较高。

实用新型内容

为了克服现有结构存在前后运动行程有限，尤其是转动的小手轮的效率很低，对大尺寸的蓝宝石尤其是还固定在陶瓷盘上的蓝宝石的检测带来困难，以及这种机构对机械加工的精度要求也较高；本实用新型提供一种新式结构，该结构不仅行程大、效率高，而且加工简单，操作方便。

本实用新型提出一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，包括由下台面和立柱构成的支架；所述立柱上设置有光学头；所述光学头的下方设置有测量盘；所述下台面设置有滑轨，所述滑轨上设置有滑块，所述滑块上设置有轴承座，所述轴承座上设置有轴承；所述轴承与测量盘的中心固定连接。

作为对本实用新型所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构的改进：所述滑轨的数量为至少两个；所述任意滑轨均设置有相对应的滑块；所述轴承座固定在滑块上。

作为对本实用新型所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构的进一步改进：所述轴承座和轴承之间设置有卡簧。

作为对本实用新型所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构的进一步改进：所述下台面的上表面平整度在0.03mm以内。

作为对本实用新型所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构的进一步改进：所述滑轨通过滑轨锁紧螺丝与下台面的上表面相互固定；所述轴承座通过滑块锁紧螺丝与滑块相互固定。

作为对本实用新型所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构的进一步改进：所述测量盘的上表面平整度控制在0.02mm内。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：在测量盘的中心设立轴承使其可以绕中心转动，轴承的外圈固定在轴承座中，轴承座的两端设有直线滑轨的滑块，两个滑块通过对应的滑轨固定于下台面上。当人将陶瓷盘(粘有蓝宝石)放置在测量盘上时，即可转动和推动测量盘实现其转动和前后方向的运动，从而可以通过光学系统检测蓝宝石的表面加工质量。实际操作的过程中省去了前后方向的转动手轮，简化了操作过程，提高了生产效率。

本实用新型的有益效果是，解决了大尺寸的蓝宝石尤其是还固定在陶瓷盘上的蓝宝石的检测问题，简化了操作过程，提高了生产率，降低了生产的成本。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。

图1是本实用新型的正面结构示意图；

图2是本实用新型的俯视结构示意图。

具体实施方式

实施例1、图1和图2给出了一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，包括由下台面5和立柱10构成的支架；立柱10上设置有对蓝宝石衬底晶片的表面进行检测的光学头12。