[实用新型]废气处理设备的洒水装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种洒水装置，特别是涉及一种废气处理设备的洒水装置。

背景技术

半导体制程中所排出的废气，不但对人体以及环境有害，且具有可燃性、爆炸性，及腐蚀性，站在保护生活环境以及永续经营的立场而言，必须使所述废气经过特殊处理，消除废气的有害性，才得以排放至环境中。

针对于有害性的废气，湿式洗涤是在业界中普遍采用的方式，直接以清水洗涤废气，能去除废气中的粉尘以及溶于水的气体成分。参阅图1，为一现有的洗涤塔1，该洗涤塔1包含一塔体10、至少一设置于该塔体10中的过滤环11，及至少一配合该过滤环11而设置于该塔体10中的洒水单元12。该洒水单元12包括一伸置于该塔体10中的主管121，及一连接于该主管121，并能朝向该过滤环11洒水的喷头122。

在该洗涤塔1中，待处理的废气是自该塔体10的下方往上输送，该洒水单元12的喷头122会朝向该过滤环11进行洒水，该过滤环11是以滤材所制成，各种不同的滤材能过滤废气中的特定成分。该洒水单元12除了以清水洗涤废气，去除废气中的粉尘及溶于水的气体成分外，由该喷头122洒至该过滤环11上的清水，也能配合滤材的特性，使得该过滤环11过滤废气的效果更好。

设置于该塔体10中的每一个洒水单元12，皆仅包括一个喷头122，以单一的喷头122进行洒水时，必须考虑到水压以及该喷头122所呈角度，才能确保该喷头122的洒水范围能涵盖整个对应的过滤环11，以免影响到过滤废气的效果。然而，由于该喷头122属于耗材，必须定期购买规格品来更换，所购买的规格品并非配合既有设备订做，因此时常会因水压无法配合，或者规格品所呈角度的关系，使得该喷头122的洒水范围无法涵盖预期范围。另外，单一的喷头122若是发生阻塞的情况时，即必须立即更换，否则会严重影响该洗涤塔1洗涤废气的功效，因此必须相当频繁地安排定期检修，在维护设备上也必须耗费大量人力成本。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种更换规格品后能确保预期的洒水范围，且不需频繁地安排定期检修来进行维护的废气处理设备的洒水装置。

用于处理废气的废气处理设备包含一用于洗涤废气的洗涤装置。本实用新型废气处理设备的洒水装置，适用于配合该洗涤装置而安装，并包含一连通水源且伸置于该洗涤装置中的主管，及多个相间隔地在该洗涤装置中与该主管连接，并能分别呈不同角度洒水的喷头。呈多个角度洒水的所述喷头，能彼此相互补足洒水的范围，确保该洒水装置能对预期的范围完整进行洒水。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

较佳地，前述废气处理设备的洒水装置，其中，该洗涤装置包括一个围绕出一个洗涤空间的洗涤本体，及多个沿该洗涤本体的延伸方向间隔设置于该洗涤空间中的过滤环，该洗涤装置是配合多个洒水装置，每一个洒水装置是配合对应的过滤环而安装。

较佳地，前述废气处理设备的洒水装置，其中，每一个洒水装置的所述喷头分别呈不同角度朝向对应的过滤环。

较佳地，前述废气处理设备的洒水装置，其中，定义一条自每一个洒水装置的主管的轴心朝向对应的过滤环延伸的延伸线，所述喷头朝向对应的过滤环的方向，是分别依序与该延伸线以顺时针方向夹30度，及以逆时针方向夹30度。

较佳地，前述废气处理设备的洒水装置，其中，每一个喷头包括一个与该主管连接的连接部、一个与该连接部连接的挡止部，及一个自该挡止部一体向外螺旋延伸的螺旋部，该连接部、该挡止部，及该螺旋部共同围绕出一个与该主管连通的喷水孔。

本实用新型的有益的效果在于：该洒水装置的主管上连接有多个分别呈不同角度的喷头，能彼此相互补足洒水的范围，确保在更换规格品后也能对预期的范围进行洒水，且当有喷头损坏时，其余喷头能弥补损坏的喷头而维持正常的洒水范围，不需立即更换损坏的喷头，故不需频繁地安排定期检修来进行该洒水装置的维护。

附图说明

图1是一示意图，说明一现有的洗涤塔；

图2是一示意图，说明本实用新型废气处理设备的洒水装置的一实施例；

图3是一立体图，说明该洒水装置的组件组成；

图4是一侧视图，说明该洒水装置的一喷头；

图5是一示意图，说明该洒水装置的多个喷头所呈角度。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。