[实用新型]一种多晶硅铸锭炉硅液溢流防护装置有效
申请号: | 201420438014.7 | 申请日: | 2014-08-05 |
公开(公告)号: | CN204080178U | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 叶欣;傅林坚;石刚;周建灿;孙明;聂冰冰 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 炉硅液 溢流 防护 装置 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉硅液溢流防护装置,包括内防护层和外防护层,其特征在于,所述内防护层安装于多晶硅铸锭炉的隔热笼内壁,所述外防护层安装于多晶硅铸锭炉的炉体内壁;所述内防护层下部呈斜角结构,且连接到隔热笼下部内壁,内防护层上部与隔热笼侧边内壁相贴合连接,在隔热笼内形成封闭空间。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉硅液溢流防护装置,其特征在于,所述多晶硅铸锭炉的炉体底部内壁还安装有多层石棉,且外保护层下部夹合于石棉层与炉体底部内壁之间,外保护层上部贴合连接在炉体侧边内壁。
3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉硅液溢流防护装置,其特征在于,所述外防护层和内防护层均为厚度1~2mm、高度200~400mm的钼片。
4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉硅液溢流防护装置,其特征在于,所述内防护层下部的斜角结构与水平面呈15°~20°夹角。
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