[实用新型]键合夹具和键合机器

权利要求书

1.一种键合夹具，所述键合夹具为可拆卸式，其特征在于，所述键合夹具可自动完成插入间隔片和夹紧两片预键合的基片的工作；所述键合夹具包括上下两块可吸附所述基片的盖板、水平定位夹紧机构和垂直夹紧机构；所述盖板包括盖板定位装置、盖板夹持装置、插片装置以及驱动装置；所述盖板定位装置为两块V形块，用于所述盖板的水平方向定位；所述插片装置包括第一开关杆和第一组滚轮拨叉，所述盖板定位后，所述第一组滚轮拨叉控制所述第一开关杆，所述第一开关杆控制在上下两片已对准的所述基片中间插入间隔片；所述盖板夹持装置包括第二开关杆和第二组滚轮拨叉，所述间隔片被插入后，所述第二组滚轮拨叉控制所述第二开关杆，所述第二开关杆控制所述上下盖板的夹持运动，从而将两片所述基片夹紧。

2.根据权利要求1所述的键合夹具，其特征在于，所述第一组滚轮拨叉和第二组滚轮拨叉均由所述驱动装置来控制，所述驱动装置为摆动气缸或者直线电机。

3.根据权利要求1所述的键合夹具，其特征在于，所述水平定位夹紧机构与所述盖板的基片吸附圆帽的圆周面相切，所述水平定位夹紧机构包括滚轮、直线导轨、双向作用气缸，所述双向作用气缸在所述直线导轨中推压，并在所述滚轮的共同作用下，促使所述基片吸附圆帽在水平方向上定位夹紧。

4.根据权利要求1所述的键合夹具，其特征在于，所述垂直夹紧机构在所述两片基片对准后，在所述两片基片中被插入间隔片后，负责夹紧所述上下盖板。

5.一种键合机器，包括对准系统和可拆卸式键合夹具，所述可拆卸式键合夹具包括上下盖板，所述上下盖板各吸附一片基片，所述对准系统探测所述基片的对准标记，驱使所述上下盖板运动，完成两片所述基片的对准工作，其特征在于，所述可拆卸式键合夹具自动完成插入间隔片和夹紧两片预键合所述基片的工作；所述键合夹具包括上下两块可吸附所述基片的盖板、水平定位夹紧机构和垂直夹紧机构；所述盖板包括盖板定位装置、盖板夹持装置、插片装置以及驱动装置；所述盖板定位装置为两块V形块，用于所述盖板的水平方向定位；所述插片装置包括第一开关杆和第一组滚轮拨叉，所述盖板定位后，所述第一组滚轮拨叉控制所述第一开关杆，所述第一开关杆控制在上下两片已对准的所述基片中间插入间隔片；所述盖板夹持装置包括第二开关杆和第二组滚轮拨叉，所述间隔片被插入后，所述第二组滚轮拨叉控制所述第二开关杆，所述第二开关杆控制所述上下盖板的夹持运动，从而将两片所述基片夹紧。

6.根据权利要求5所述的键合机器，其特征在于，所述对准系统包括基片楔形误差补偿系统、运动台系统和机器视觉系统。