[实用新型]弹性波装置用复合基板以及弹性波装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及弹性波装置用复合基板、其制法和弹性波装置。

背景技术

以往，已知有支承基板和压电基板贴合的弹性波装置用的复合基板。作为弹性波装置，例举有在这样的复合基板中压电基板的表面上设有能够激励弹性表面波的梳形电极的装置等。作为支承基板，采用具有比压电基板更小的热膨胀系数的基板的话，由于温度变化时的压电基板的大小变化得到抑制，所以弹性波装置的频率特性的变化得到抑制。又，通过将压电基板中与支承基板贴合侧的面制作为粗糙面，乱真信号的产生产生得到抑制(参照专利文献1)。此时，在梳形电极附近与弹性表面波一同产生的作为弹性波的一种的体波到达压电基板的背面，但由于该背面为粗糙面，具有凹凸，因此会被散射。结果，乱真信号的产生得到抑制。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】日本专利特开2012－85286号公报

实用新型内容

实用新型所要解决的问题

然而，专利文献1所述的弹性波装置中，为了防止设于压电基板的背面的凹凸与支承基板之间卷入空气，在贴合两基板之前，在将填充剂埋入压电基板的背面的凹凸之后，需要进行再研磨使之平坦。因此，产生复合基板的制造工序数增加的问题。

本实用新型为解决上述问题，提供一种能够抑制弹性波装置的乱真信号的产生且构成简单的复合基板。

解决问题的手段

本实用新型的弹性波装置用复合基板为将压电基板和支承基板贴合的弹性波装置用复合基板，所述压电基板具有抑制乱真信号产生的弯曲。

该弹性波装置用复合基板中，由于压电基板具有抑制乱真信号产生的弯曲，因此可使利用该复合基板制作的弹性波装置的体波为低振幅且宽幅，由此可抑制乱真信号的产生。又，复合基板为在压电基板设置弯曲的基板，因此结构简单。

本实用新型的弹性波装置用复合基板中，抑制乱真信号产生的弯曲优选为例如，弯曲的曲线要素的平均长度WSm为形成于压电基板的表面的IDT电极的电极指的配置周期的20～250倍，弯曲的最大高度Wz为形成于压电基板的表面的IDT电极的电极指的配置周期的0.2～1.5倍。此处，弯曲的曲线要素的平均长度WSm为以JISB0601定义的表面性状参数，相当于弯曲的周期。WSm超过上限值的话，利用该复合基板的弹性波装置的体波不发生衰减、可能无法抑制乱真信号的产生，如果WSm小于下限值的话，弹性波的传递效率下降，过滤器的损失变大。又，弯曲的最大高度Wz为以JISB0601定义的表面性状参数，为弯曲的峰高的最大值和谷深的最大值的和。Wz超过上限值的话，采用该复合基板的弹性波装置的弹性波的传递效率下降，过滤器的损失变大，Wz小于下限值的话，体波不衰减，可能无法抑制乱真信号的产生。

本实用新型的弹性波装置用复合基板中，所述压电基板最好在与所述压电基板中的与所述支承基板接合的面相对侧的面具有所述抑制乱真信号产生的弯曲。抑制乱真信号产生的弯曲可形成于压电基板中的与支承基板的接合面，但形成于压电基板的表面的话制造更容易。

本实用新型的弹性波装置用复合基板中，所述压电基板中具有所述抑制乱真信号产生的弯曲的面的算术平均粗糙度Ra(除了弯曲成分的粗糙度)最好是1nm以下。由 此，采用该复合基板的弹性波装置的特性变得良好。

本实用新型的弹性波装置用复合基板的制法包括：

(a)将压电基板和支承基板贴合的制作贴合基板的工序；

(b)准备包括有：表面具有研磨布的能够绕轴旋转的基盘、配置于相对该基盘位置的能够绕轴旋转的基板载置器的研磨装置的工序；

(c)准备具有抑制乱真信号产生的弯曲的粘结片的工序；

(d)将所述粘结片的一面安装于所述基板载置器，所述粘结片的另一面紧贴所述贴合基板中的所述支承基板并固定，并以所述贴合基板中的所述压电基板与所述研磨布接触了的状态，一边向所述研磨布提供研磨浆料一边使得所述基盘和所述基板载置器绕轴旋转，由此研磨所述压电基板的工序；

(e)将研磨后的贴合基板从所述研磨装置取下的工序。