[实用新型]一种湿式刻蚀机的喷淋装置

权利要求书

1.一种湿式刻蚀机的喷淋装置,包括可盛放刻蚀溶液的槽体(1)和设在槽体(1)上方的喷淋头(2)，所述喷淋头(2)与水管相连，所述槽体(1)内设有带液滚轮(3)，所述带液滚轮(3)的一端穿出槽体(1)并与设置在槽体(1)一侧的电机(4)相连，其特征在于，所述带液滚轮(3)的上方设有赶水滚轮(5)和轮轴(51)，所述赶水滚轮(5)套在轮轴(51)上空转，所述槽体(1)的侧壁上连接有能改变轮轴(51)高度的升降结构，另外硅片(9)在带液滚轮(3)与赶水滚轮(5)之间输送。 

2.根据权利要求1所述的一种湿式刻蚀机的喷淋装置，其特征在于，所述硅片(9)呈方形，硅片(9)平靠在带液滚轮(3)上方。 

3.根据权利要求1或2所述的一种湿式刻蚀机的喷淋装置，其特征在于，所述升降结构包括一端铰接在槽体(1)侧壁上可沿铰接点摆动的摆臂(6)，所述摆臂(6)的另一端与轮轴(51)端垂直相固连，所述摆臂(6)上连接有带动摆臂(6)摆动的摇柄(61)。 

4.根据权利要求1或2所述的一种湿式刻蚀机的喷淋装置，其特征在于，所述升降结构包括凸轮(7)、带动凸轮(7)转动的马达(8)、固定在槽体(1)侧壁上的导套(72)和设于导套(72)内可沿导套(72)上下滑行的导杆(71)，所述导杆(71)上端与轮轴(51)垂直相固连，所述导杆(71)下端始终与凸轮(7)的轮面相抵靠，所述在槽体(1)侧壁上设有控制马达(8)的开关(81)。 

5.根据权利要求1所述的一种湿式刻蚀机的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋头(2)两侧各设有一个赶水滚轮(5)。 

6.根据权利要求5所述的一种湿式刻蚀机的喷淋装置，其特征在于，所述槽体(1)为长方形，所述赶水滚轮(5)的长度与槽体(1)宽度相同。