[实用新型]一种单晶坩埚自动喷涂设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种喷涂设备，具体是一种单晶坩埚自动喷涂设备。

背景技术

目前，在单晶石英坩埚的生产过程中，将氢氧化钡喷涂在单晶石英坩埚的内壁可以提高单晶石英坩埚的寿命和提升单晶坩埚的成晶率。因此均匀和适量的喷涂是对该工艺的主要考核指标，传统的喷涂方式大多是采用人工进行喷涂，势必存在喷涂效率低，喷涂不均匀以及喷涂量难以控制等诸多缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶坩埚自动喷涂设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶坩埚自动喷涂设备，包括放物台，所述放物台上固定卡接单晶坩埚，从而保证单晶坩埚的稳定，所述单晶坩埚内设有一个流体动力室，流体动力室通过双孔导管连接在平台上；所述流体动力室内设有主动风轮，主动风轮下方固连有挡盘，且挡盘的下方中心部连接有一个中空的导管，导管贯穿流体动力室底部室壁，导管在流体动力室的一端外围设有若干个通孔，通孔连接导管内部；所述导管的另一端设有开口，且开口的一端设置在喷枪内；所述流体动力室的顶部设有两个中心对称的进气接口；所述进气接口分别通过管道连接双孔导管内的通道，双孔导管其中的一条通道通过输液管与药液箱连接，且输液管上设有第一氮气进口，所述药液箱的顶部设有第二氮气进口；双孔导的另一条通道连接二氧化碳进气管；所述平台上放设有抽风机，抽风机的抽气口连接端盖，且抽风机连接布袋。

作为本实用新型进一步的方案：所述单晶坩埚的顶部设有与平台连接的罩子。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过平台和双孔导管将流体动力室固定，并深入单晶坩埚内，通过双孔导管将二氧化碳和混有氮气的药液高压送入流体动力室的主动风轮上，从而带动主动风轮转动，通过流体动力室内的主动风轮和挡盘将二氧化碳和混有氮气的药液混合均匀从导管上的小孔送至喷枪内，从而对单晶坩埚进行喷涂，同时在单晶坩埚的上方设有罩子，通过抽风机将喷涂中产生的烟尘吸入至布袋中，即可以保证喷涂的药液均匀，同时防止烟尘逸散，保护了环境，有利于工人的身体健康。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：导管1、挡盘2、主动风轮3、进气接口4、双孔导管5、罩子6、第一氮气进口7、输液管8、药液箱9、第二氮气进口10、布袋11、抽风机12、平台13、流体动力室14、喷枪15、单晶坩埚16、放物台17、端盖18、二氧化碳进气管19。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型实施例中，一种单晶坩埚自动喷涂设备，包括放物台17，所述放物台17上固定卡接单晶坩埚16，从而保证单晶坩埚16的稳定，所述单晶坩埚16内设有一个流体动力室14，流体动力室14通过双孔导管5连接在平台13上以便于平台13上升带出流体动力室14，所述单晶坩埚16的顶部设有与平台13连接的罩子6；

所述流体动力室14内设有主动风轮3，主动风轮3下方固连有挡盘2从而将上方吹下的流体分散，使得气流从主动风轮3和挡盘2之间的空隙流出，且挡盘2和主动风轮3可以将进入流体动力室14内的气体和液体进行混合均匀，且挡盘2的下方中心部连接有一个中空的导管1，导管1贯穿流体动力室1底部室壁，导管1在流体动力室1的一端外围设有若干个通孔，通孔连接导管1内部；所述导管1的另一端设有开口，且开口的一端设置在喷枪15内，从而使得喷枪15可以将混合均匀的液体喷出；所述流体动力室14的顶部设有两个中心对称的进气接口4；

所述进气接口4分别通过管道连接双孔导管5内的通道，双孔导管5其中的一条通道通过输液管8与药液箱9连接，且输液管8上设有第一氮气进口7，所述药液箱9的顶部设有第二氮气进口10；双孔导管5的另一条通道连接二氧化碳进气管19；所述平台13上放设有抽风机12，抽风机12的抽气口连接端盖18以便于将罩子6底部的烟尘吸收，且抽风机12连接布袋11用于收集烟尘。