[实用新型]一种MOCVD反应室的水冷电极

权利要求书

1.一种MOCVD反应室的水冷电极，包括：尾端穿过反应室腔体且前端面设有冷却沉孔的电极杆，尾端设于冷却沉孔内的进水管、设于电极杆前端且密封连通所述冷却沉孔的出水管，其特征在于，

所述电极杆中部设有一圈向外凸出的轴肩，所述轴肩通过紧固螺钉固定在反应室腔体前侧面上，所述轴肩与反应室腔体前侧面之间设有绝缘密封组件，所述轴肩与紧固螺钉之间设有绝缘组件，所述电极杆穿过反应室腔体的部分套有绝缘陶瓷套；

所述绝缘密封组件包括：沿电极杆径向方向由内向外依次套于电极杆上的第一绝缘环、第一密封圈及第二绝缘环；

所述绝缘组件包括：设于所述轴肩与紧固螺钉之间的螺钉绝缘套、设于所述轴肩前侧面与紧固螺钉头部之间的第三绝缘环；

所述第二、三绝缘环上设有与所述紧固螺钉外径配合的安装孔。

2.如权利要求1所述的水冷电极，其特征在于，所述电极杆前端与出水管之间设有密封连接装置，所述密封连接装置包括：

密封盖，所述密封盖通过螺纹固定于所述电极杆前端外壁，密封盖前端面设有固定孔；

密封芯，所述密封芯同轴固定于所述密封盖内，密封芯设有与冷却沉孔直径配合的通孔，密封芯前端伸出所述固定孔、尾端设于所述电极杆前端内、中部设有抵接于电极杆与固定孔之间的定位圈，所述密封芯尾端套有位于定位圈与电极杆前端面之间的第二密封圈；

水管接头，所述水管接头密封固定于密封芯前端，水管接头内设有与冷却沉孔直径配合的引水孔，所述水管接头一侧设有贯通所述引水孔且与出水管配合的螺纹密封孔，所述水管接头前端面设有进水管密封口；

所述进水管前端穿过所述密封芯和水管接头，从所述进水管密封口伸出。

3.如权利要求2所述的水冷电极，其特征在于，所述电极杆前端设有一圈与第二密封圈位置配合的倾斜凹陷部。

4.如权利要求1所述的水冷电极，其特征在于，所述第一绝缘环采用聚四氟材料制作，第二、第三绝缘环均采用环氧树脂材料制作。

5.如权利要求1所述的水冷电极，其特征在于，所述第一、第二密封圈采用O型密封圈。