[实用新型]一种负压缓冲器

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子加工设备技术领域，特别是一种负压缓冲器。

背景技术

切割机切割结束后硅片中间会出现破裂，造成晶粒的损失，经分析为硅片放在切割盘上，真空吸住后切割，切割结束后硅片吸附在吸盘上，取片困难，机器本身具有破真空功能，管路中的水会被大气顶上来，将硅片的中间冲破。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种解决硅片在切割时易损坏的技术问题的负压缓冲器。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：

一种负压缓冲器，包括气管接头、气管、密封气罐和真空吸盘，所述气管接头安装密封气罐的两端，所述气管插装在气管接头上，且气管与密封气罐相贯通，所述真空吸盘安装在所述气管的一端；

本实用新型是串联在切割机内部，在生产时，真空吸盘会吸住硅片，切割机开始进行切割，切割完以后，真空吸盘要进行破真空，这样方便取片，原来的切割机在吸附过程中会吸取部分切削液，在破真空时，切削液会被喷出，对硅片造成损坏；

而在切割机串联本实用新型后，其中密封罐倾斜安装，切削液会进入密封罐中，这样在破真空时，就不会有切削液喷出，损坏硅片。

本实用新型的有益效果是：

1.通过密封罐储存液体，使得破真空时不会有液体喷出；

2.保证硅片切完后,取片时不会损坏，使材料的良率上升，减少了材料的浪费；

3.节省人力，提高效率，减少了因材料损坏而需要的后续加工。

附图说明

图1为本实用新型具体实施例所述的一种负压缓冲器的主视图，

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、气管接头，2、气管，3、密封气罐，4、真空吸盘。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

一种负压缓冲器，包括气管接头1、气管2、密封气罐3和真空吸盘4，所述气管接头1安装密封气罐3的两端，所述气管2插装在气管接头1上，且气管2与密封气罐3相贯通，所述真空吸盘4安装在所述气管2的一端；

本实用新型串联在切割机内部，通过密封罐3储存液体，防止液体对硅片造成损坏。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。