[实用新型]大风量低压高效等离子设备

权利要求书

1.一种大风量低压高效等离子设备，其特征在于，其包括：

可控制伺服电源，用于输出直流电；

方波功率放大器，分别连接到所述可控制伺服电源和可控制方波振荡器，用于根据所述可控制方波振荡器输出的信号并利用所述可控制伺服电源输出的直流电生成交流方波信号输出；

模拟器，所述模拟器的输入端串接扼流电感后再串于所述方波功率放大器的两个输出点之间，所述模拟器的输出端接离子管，用于将所述方波功率放大器输出的交流方波信号转换成正弦波信号输入到所述离子管。

2.如权利要求1所述的大风量低压高效等离子设备，其特征在于，其还设有悬浮驱动单元，连接到所述的可控制方波振荡器和所述的方波功率放大器，用于接收所述可控制方波振荡器的时钟主频率，并根据所述时钟主频率生成脉冲序列对后输出到所述的方波功率放大器。

3.如权利要求1所述的大风量低压高效等离子设备，其特征在于，其还设置有自动相位控制单元，自动相位控制单元包括有依次串联连接的整形单元、相位误差比较器和第一控制适配器；其中，该整形单元的输入端连接到所述的模拟器输出端并接收正弦波信号后，生成同频同相的方波信号，输出至所述的相位误差比较器，该相位误差比较器分别接收到方波信号和所述方波功率放大器的输出信号进行鉴相处理，生成并输出误差信号且输出到所述第一控制适配器，该第一控制适配器接收到该误差信号后转换为对应的直流控制电压，直流控制电压经过高频抑制处理后作为所述可控制方波振荡器的控制电压，适时调整可控制方波振荡器产生的时钟主频率，使相位误差比较器的输出幅度趋于0。

4.如权利要求3所述的大风量低压高效等离子设备，其特征在于，其还包括依次串联的自动电流控制单元，其包括电流采集转换单元，比较器超调控制器以及第二控制适配器；其中，该电流采集转换单元接收所述离子管的正弦电流，转换成该信号幅度的直流电压输出，所述比较器超调控制器分别接收该直流电压以及设定的基准信号进行比较，输出误差信号，并将该误差信号经超调处理，高频抑制后变成低频控制电压并输出，所述第二控制适配器接收到到该低频控制电压经过转换适配生成可控制伺服电源能识别的控制信号，并输出至可控制伺服控制电源。

5.如权利要求1所述的大风量低压高效等离子设备，其特征在于，所述的模拟器为具有较小的漏电流的变压器，其绕线方式为以降低漏感的单槽骨架。

6.如权利要求1所述的大风量低压高效等离子设备，其特征在于，所述离子管为花冠corolla放电模式等离子管，其包括一端封口的玻璃管，未封口的一端由管座密封，玻璃管内充有惰性气体，该玻璃管的内、外壁分别设有阳极和阴极，所述阳极由0.15~0.5mm厚度的纯铝板材错位打满直径为1.5~3.0mm的孔，并卷成和所述玻璃管内壁相配合的圆筒。

7.如权利要求3所述的大风量低压高效等离子设备，其特征在于，整形单元为过零比较器电路。