[实用新型]抛光模面形监测装置有效
| 申请号: | 201420394276.8 | 申请日: | 2014-07-17 |
| 公开(公告)号: | CN204123269U | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
| 发明(设计)人: | 马平;游云峰;谢磊 | 申请(专利权)人: | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号: | B24B49/00 | 分类号: | B24B49/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 610044 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 抛光 模面形 监测 装置 | ||
1.一种抛光模面形监测装置,包括位移探测器(1)、垂向定位器(5)、L形连接板(6)和径向位移导轨(9),其特征在于,L形连接板(6)经连接件(7)与径向位移导轨(9)连接,垂向定位器(5)由紧固螺钉固定在L形连接板(6)之上,位移探测器(1)与L形连接板(6)的立板连接;位移探测器(1)下设有探针(2);L形连接板(6)的底板上设有传动窗口(3)和约束孔(4)。
2.根据权利要求1所述的抛光模面形监测装置,其特征在于,所述的位移探测器(1)为差动变压传感器。
3.根据权利要求1所述的抛光模面形监测装置,其特征在于,所述的传动窗口(3)为蓝宝石片。
4.根据权利要求1所述的抛光模面形监测装置,其特征在于,所述的径向位移导轨(9)由精密电机驱动。
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