[实用新型]一种外延生长衬底有效
| 申请号： | 201420389433.6 | 申请日： | 2014-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN204118106U | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 郑锦坚;寻飞林;伍明跃;周启伦;郑建森;李水清;康俊勇 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/02 | 分类号： | H01L33/02;H01L33/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361009 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 外延 生长 衬底 | ||
【权利要求书】：
1.一种外延生长衬底，包括衬底本体，其特征在于：所述衬底本体的底部中心具有块状凹槽，且所述块状凹槽在水平面的投影面积占衬底本体投影面积的40~60%。
2.根据权利要求1所述的一种外延生长衬底，其特征在于：所述块状凹槽的外边缘形状与衬底本体的外边缘大体一致。
3.根据权利要求1所述的一种外延生长衬底，其特征在于：所述块状凹槽在水平面的投影图形为圆形或三角形或正方形或五边形或六边形或八边形或其它规则图形。
4.根据权利要求1所述的一种外延生长衬底，其特征在于：所述块状凹槽在水平面的投影面积占衬底本体投影面积的50%。
5.根据权利要求1所述的一种外延生长衬底，其特征在于：所述衬底的基材为蓝宝石或氮化镓或碳化硅或硅或氮化铝或氧化锌。
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