[实用新型]驱动装置及扫描狭缝单元有效

专利信息
申请号: 201420381081.X 申请日: 2014-07-10
公开(公告)号: CN203965800U 公开(公告)日: 2014-11-26
发明(设计)人: 于溅波;何军 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 驱动 装置 扫描 狭缝 单元
【权利要求书】:

1.一种驱动装置,其特征在于,包括:

支撑架及设置于所述支撑架上的第一轴承;

刀背及设置于所述刀背上的第二轴承;

弹簧,所述弹簧一端固定于所述第一轴承的一连接点上,所述弹簧另一端固定于所述第二轴承的一连接点上;及

驱动所述刀背运动的马达。

2.如权利要求1所述的驱动装置,其特征在于,所述第一轴承及第二轴承外均套有保护盖。

3.如权利要求2所述的驱动装置,其特征在于,所述保护盖为透明保护盖。

4.如权利要求1所述的驱动装置,其特征在于,所述第一轴承及第二轴承上均设置有注入口。

5.如权利要求1所述的驱动装置,其特征在于,所述弹簧一端通过螺纹连接方式固定于所述第一轴承的一连接点上,所述弹簧另一端通过螺纹连接方式固定于所述第二轴承的一连接点上。

6.如权利要求1~5中任一项所述的驱动装置,其特征在于,所述支撑架包括连接条及固定于所述连接条上平行排列的两根导轨。

7.如权利要求6所述的驱动装置,其特征在于,所述马达驱动所述刀背沿所述两根导轨运动。

8.如权利要求6所述的驱动装置,其特征在于,所述第一轴承设置于所述连接条上。

9.一种扫描狭缝单元,其特征在于,包括:

四个刀片,所述四个刀片两两相对设置,组成两组刀片对;

每个刀片上设置有如权利要求1~8中任一项所述的驱动装置,所述驱动装置能够驱动所述刀片运动。

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