[实用新型]一种靶极测试真空腔体

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种腔体，具体为一种靶极测试真空腔体。

背景技术

真空溅镀工艺是目前在镀膜界的一项新技术,在真空镀膜作业中，腔体内的雾气向、电以及磁力的搭配，再加上气体与压力的控制，都能够直接影响到工件的质量和使用效率，而其中用到的磁控装置就是一个非常重要的组件。而在磁控裝置的靶極，通常只能在上机后才能以侧漏方式检测到侧漏程度，以确定气密度，而靶极的好坏以及是否可用，则需要达到一定的真空度才能测试，测试难度较大而且具有滞后性，浪费工时，并且增加了生产成本。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型公开一种靶极测试真空腔体，包括：方形腔体1，其前侧侧壁设置玻璃视窗安装口2，并在所述玻璃视窗安装口2内安装视窗玻璃3，所述方形腔体1的左右两侧分别设置一个真空接口4；方形法兰5，其焊接在所述方形腔体1的上方开口处，所述方形法兰5的内侧设置一密封圈安装槽6。

优选地，所述视窗玻璃3通过螺丝7紧固在玻璃视窗安装口2内。

本实用新型的有益效果是所述靶极测试真空腔体能够确保靶极在上机前就得到准确的合格确认，缩短了确认时间，减少误判，且测试过程简易，缩短了工时。

附图说明

图1是本实用新型所述靶极测试真空腔体的侧视图；

图2是本实用新型所述靶极测试真空腔体的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

如图所示，本实用新型公开一种靶极测试真空腔体，包括：方形腔体1，其前侧侧壁设置玻璃视窗安装口2，并在所述玻璃视窗安装口2内安装视窗玻璃3，所述方形腔体1的左右两侧分别设置一个真空接口4；方形法兰5，其焊接在所述方形腔体1的上方开口处，所述方形法兰5的内侧设置一密封圈安装槽6。

优选地，所述视窗玻璃3通过螺丝7紧固在玻璃视窗安装口2内。

所述方形腔体1是不锈钢方形腔体，所述方形法兰5也是不锈钢方形法兰，所述靶极测试真空腔体能够确保靶极在上机前就得到准确的合格确认，缩短了确认时间，减少误判，且测试过程简易，缩短了工时。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。