[实用新型]一种扩散泵油气隔离冷井

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种油气隔离防止回油装置，具体为一种扩散泵油气隔离冷井。

背景技术

现有技术中，在真空制程中使用真空扩散泵已经非常普遍，真空扩散泵的原理是以加热器将油加热，加热到一定温度后，利用包覆原理，将气体包覆带走，从而达到去除油气污染的目的，但是在油加热的过程中，会有部分油气挥发至真空腔体内，影响了真空腔体的洁净度，从而降低了工件品质，而现有技术中油气隔离的效果不是很好，油气隔离效果慢，降低了抽气效率，且不易实施，不便保养。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型公开一种扩散泵油气隔离冷井，包括：不锈钢圆形腔体1、不锈钢冷却水S型管路2以及不锈钢散热鳍片3，所述不锈钢冷却水S型管路2设置在不锈钢圆形腔体1的内部空腔内，所述不锈钢散热鳍片3设置在不锈钢冷却水S型管路2的上下层，并倾斜45度角度。

本实用新型的有益效果是通过所述扩散泵油气隔离冷井的结构设计，能够有效隔离油气，提高抽气效率，且结构简单、保养简单、成本较低。

附图说明

图1是本实用新型所述扩散泵油气隔离冷井的侧面剖视图；

图2是本实用新型所述扩散泵油气隔离冷井的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

如图所示，本实用新型公开一种扩散泵油气隔离冷井，包括：不锈钢圆形腔体1、不锈钢冷却水S型管路2以及不锈钢散热鳍片3，所述不锈钢冷却水S型管路2设置在不锈钢圆形腔体1的内部空腔内，所述不锈钢散热鳍片3设置在不锈钢冷却水S型管路2的上下层，并倾斜45度角度。所述扩散泵油气隔离冷井的结构设计，能够有效隔离油气，提高抽气效率，且结构简单、保养简单、成本较低。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。