[实用新型]一种旋转靶材自转传动组件有效
| 申请号： | 201420376005.X | 申请日： | 2014-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN204134845U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 罗文富 | 申请（专利权）人： | 厦门映日新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;F16H1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市同安区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 自转 传动 组件 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋转靶材自转传动组件，其特征在于：包括水冷电机（1）、第一斜齿轮（2）、第二斜齿轮（3）、轴承（4）、轴承座（5）和靶材芯轴（6），所述水冷电机（1）、第一斜齿轮（2）、第二斜齿轮（3）、轴承（4）、轴承座（5）、靶材芯轴（6）均设置在真空腔体内，所述水冷电机（1）通过转轴（11）与所述第一斜齿轮（2）传动连接，所述第一斜齿轮（2）与第二斜齿轮（3）相互啮合传动连接，所述靶材芯轴（6）通过所述轴承（4）固定在轴承座（5）上且与所述第二斜齿轮（3）传动连接。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材自转传动组件，其特征在于：所述轴承（4）的材质为304不锈钢。
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