[实用新型]废剥离液回收装置

说明书

技术领域 本实用新型涉及废液处理装置，特别是涉及回收液晶面板光刻胶废剥离液的装置。

背景技术 薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）生产过程中，在玻璃基板表面有清洗、镀膜、光刻、刻蚀、剥离等工序。其中光刻工序利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形完整且精确地复制到玻璃基板上。光刻胶主要由对光与能量非常敏感的感光树脂和有机溶剂组成。感光树脂经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变化，再经适当的溶剂处理，去除可溶性部分，从而可以得到所需图像。在剥离工序中，对已经蚀刻出所需图形的基板，利用剥离液溶剂将覆盖于图形上的光刻胶剥离去除以便进行后续工序，这个剥离过程产生的废液即为废剥离液。

废剥离液的成分可分为三大类物质：①可回收利用的剥离液溶剂；②水及其它轻组分杂质；③光刻胶及其它重组分杂质。废剥离液一般需要采用精馏的方法进行回收，为避免高温加热导致热敏性剥离液溶剂分解，精馏操作需要在真空条件下进行，以降低精馏过程的溶剂沸点。但是由于含有光刻胶和其它高沸点物质，即使在很高的真空下精馏塔釜温度还是很容易超过热敏临界温度，因此仅仅提高系统的真空度还不够，还需要采用薄膜蒸发去除光刻胶及部分高沸点杂质，从而在精馏过程中降低精馏塔釜的温度，减少或避免剥离液的分解，最终达到尽可能提高剥离液回收率的目的。

现有回收剥离液的装置如图1所示，由依次连接的薄膜蒸发器、脱轻精馏塔和精制精馏塔组成，薄膜蒸发器的轻相出料管线与脱轻精馏塔的进料管线连接，脱轻精馏塔的重相出料管线与精制精馏塔的进料管线连接，精制精馏塔的重相出料管线与薄膜蒸发器的进料管线连接。该装置的不足之处在于，废剥离液首先进入起脱重作用的薄膜蒸发器，在热敏温度限制下，薄膜蒸发器绝对压力要达到1kPa以下才能将剥离液有效溶剂成分蒸出进行分离回收，1kPa时水的沸点约为7℃，这个压力下薄膜蒸发器蒸出的轻相蒸气需要用0℃以下的循环冷却液才能将其冷凝下来，而要提供0℃以下的循环冷却液则需要有相应的制冷设备，否则轻相蒸气中的部分水分和部分轻组分有机溶剂杂质不能被完全冷凝，而进入真空机组，造成真空机组故障率升高，并最终从真空机组排气口进入尾气处理装置，加重尾气处理装置负担，甚至对环境空气造成污染。

实用新型内容 本实用新型要解决的技术问题在于避免现有技术中薄膜蒸发器蒸出的轻相蒸气不能被完全冷凝、需要增加相应制冷设备而提出一种废剥离液回收装置。

本实用新型的技术方案如下：

本实用新型的废剥离液回收装置，包括从废剥离液中分离除去其中轻组分杂质的脱轻精馏塔、从废剥离液中分离除去其中重组分杂质的薄膜蒸发器，以及精制回收剥离液的精制精馏塔，其特征在于所述脱轻精馏塔与薄膜蒸发器和精制精馏塔依次相连。所述脱轻精馏塔的重相出料管线与所述薄膜蒸发器的进料管线相连，所述薄膜蒸发器的轻相出料管线与所述精制精馏塔的进料管线相连，所述精制精馏塔的重相出料管线与所述薄膜蒸发器的进料管线相连。

进一步地，所述薄膜蒸发器优选为刮膜蒸发器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1.废剥离液首先进入脱轻精馏塔，该塔任务在于脱除水分等轻组分杂质，因此脱轻精馏塔的塔顶压力只需要控制在6~10kPa之间（若低于6kPa则塔顶蒸出的轻相蒸气靠常规冷却冷凝可能不完全；若超过10kPa则塔釜温度可能超过热敏临界温度），此压力下水及其它轻组分杂质的最低沸点在36~46℃之间，可以用25~30℃的循环冷却水进行常规冷却，无须配置制冷设备，也不会增加尾气处理负荷。

2.经脱轻精馏塔脱除水分等轻组分杂质后的废剥离液进入薄膜蒸发器进行脱重处理，由于低沸点杂质已被除去，因此薄膜蒸发器的压力在1kPa时，其蒸发出来的轻相蒸气温度在50℃以上，可以用25~30℃的循环冷却水进行常规冷却，无须配置制冷设备，也不会增加尾气处理负荷。

因此，本实用新型既不用配置制冷设备，节省了设备投资，也避免了制冷设备运行所需的额外能量消耗，以及避免了现有技术可能对尾气处理装置带来的额外负担，从而降低了运行成本，也更符合环保要求。

附图说明

图1是现有工艺装置图。

图2是本实用新型工艺装置图。

具体实施方式 以下结合附图和优选实施例对本实用新型作进一步详述。