[实用新型]一种像素AEC平板探测器

权利要求书

1.一种像素AEC平板探测器，其特征在于，至少包括：

像素阵列，包括多个正常像素单元及若干个AEC像素单元，所述多个正常像素单元形成阵列，所述若干个AEC像素单元以取代该阵列中的正常像素的方式分布于该阵列中，所述正常像素单元由一个薄膜晶体管开关及一个光电二极管组成，所述AEC像素单元由一个光电二极管组成；

栅极驱动信号控制电路，连接于各正常像素单元，用于控制各薄膜晶体管开关的关闭与开启；

正常像素信号读出电路，连接于各正常像素单元，用于读出正常像素单元产生的电荷信号；

AEC信号控制处理系统，连接于各AEC像素单元，用于在接收到从AEC像素单元读出的电荷时向图像信息采集系统发送曝光开始信号，并在AEC像素单元读出的电荷数达到预设阈值时向图像信息采集系统发出曝光终止信号；

图像信息采集系统，连接于所述正常像素信号读出电路及所述栅极驱动信号控制电路，用于在接收到所述曝光开始信号通过所述栅极驱动信号控制电路控制各薄膜晶体管开关关闭以开始积累电荷，并在接收到所述曝光终止信号后向像素AEC平板探测器发出读出信号进行电荷的读出；

图像信息处理系统，连接于所述图像信息采集系统，用于图像信息处理。

2.根据权利要求1所述的像素AEC平板探测器，其特征在于：同一列AEC像素单元与正常像素单元共用一条反向电压电源线，同一列的正常像素单元共用一条第一读出数据线，同一列的AEC像素单元共用一条第二读出数据线。

3.根据权利要求1所述的像素AEC平板探测器，其特征在于：所述AEC像素单元中的光电二极管的面积大于所述正常像素单元中的光电二极管的面积。

4.根据权利要求1所述的像素AEC平板探测器，其特征在于：所述AEC像素单元为PIN光电二极管。

5.根据权利要求4所述的像素AEC平板探测器，其特征在于：所述AEC像素单元包括：

衬底；

第一保护膜层，结合于所述衬底表面；

金属膜层，形成于所述第一保护膜层表面；

第二保护膜层，形成于所述金属膜层表面，并具有露出所述金属膜层的第一窗口及第二窗口；

光电二极管膜层，形成于所述第二保护膜的第一窗口中；

上电极膜层，形成于所述光电二极管膜层表面；

第三保护膜层，形成于所述上电极膜层表面，并具有第一通孔及第二通孔；

反向电源金属膜，通过第一通孔连接于所述上电极膜层；

电荷读出线路金属膜，通过第二通孔及第二窗口连接于所述金属膜层。

6.根据权利要求5所述的像素AEC平板探测器，其特征在于：所述第一保护膜层、第二保护膜层及第三保护膜层为SiNx保护膜层。

7.根据权利要求5所述的像素AEC平板探测器，其特征在于：所述光电二极管膜层的材料为非晶硅。

8.根据权利要求5所述的像素AEC平板探测器，其特征在于：所述反向电源金属膜及电荷读出线路金属膜为ITO透明导电层。