[实用新型]一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备，具体涉及一种用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置。 

背景技术

连续式磁控镀膜生产线为玻璃镀膜工艺的重要设备。而靶装置是连线式磁控镀膜生产线中非常的重要部分。靶装置中的磁钢靶对靶材进行轰击，使靶材表面组份以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。目前的靶装置存在以下缺陷： 

1、靶芯机构中的磁钢靶直接浸泡于靶壳内的冷却水里，从而磁钢靶容易因生锈而导致工作失效，可靠性低； 

2、靶芯机构中的磁钢靶因运行磨损等原因而容易与靶壳直接接触，而且磁钢靶安装于靶芯的稳定性差，即磁钢靶会发生位移，从而引起磁路的不均匀，导致工作失效，可靠性低； 

3、绝缘机构中的绝缘板设置于真空室内，即位于盖板的下方，则在镀膜过程中，自靶材飞出的金属容易粘在绝缘板的表面形成导电的膜层，从而使工作效，可靠性低； 

4、绝缘机构的密封性能差，螺栓容易疲劳磨损，而且需要对每个螺栓设备独立的绝缘垫，导致安装和维护不方便，提高了成本； 

5、电擦机构需要采用较多零件，造成加工周期长，成本高，利于进行大批量生产。 

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服以上现有技术存在的不足，提供了一种结 构简单、合理，工作可靠性高的用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置。 

本实用新型的目的通过以下的技术方案实现：本用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置，包括盖板、电擦机构、绝缘机构和靶芯机构，所述靶芯机构的一端通过电擦机构与盖板连接，所述靶芯机构的另一端通过绝缘机构与盖板连接；所述靶芯机构包括靶壳、靶芯、磁钢靶、隔水管和2张密封板，所述靶壳的一端连接于电擦机构，另一端连接于绝缘机构；所述靶芯安装于靶壳内，所述隔水管套于靶芯，所述隔水管的两端通过密封板与靶芯密封连接，所述靶芯、隔水管和密封板形成密封腔，所述磁钢靶安装于靶芯，且所述磁钢靶位于密封腔内。 

优选的，所述靶芯的下侧中部设有安装槽，所述磁钢靶插入安装槽。 

优选的，所述靶芯机构中的磁钢靶的数量为3。 

优选的，所述隔水管呈圆形或方形；所述隔水管的材料为钢材。 

优选的，所述靶芯机构的数量具有2个，2个所述靶芯机构平行设置于盖板下方。 

优选的，所述绝缘机构包括密封座、绝缘板、连接管和8个螺栓，所述密封座的下端自上而下依次穿过绝缘板和盖板，所述密封座的法兰部的下端面贴紧于绝缘板的上面，所述绝缘板的下端紧贴于盖板的上面；所述密封座的法兰部、绝缘板和盖板通过螺栓连接一起，所述连接管一端连接于密封座，另一端连接于靶壳。 

优选的，所述螺栓的数量为8个，其中4个所述螺栓为第一螺栓，剩下4个为第二螺栓，所述密封座的法兰部设有第一通孔和第二通孔，所述绝缘板设有与第一通孔对应的第三通孔和与第二通孔对应的第四通孔，所述盖板设有同时与第二通孔、第四通孔对应的螺纹孔，所述第一螺栓自下而上依次穿第一通孔和第三通孔，且所述第一螺栓的螺杆部设有紧固的螺母；所述第二螺栓自上而下依次穿过第二通孔和第四通孔，且所述第二螺栓的螺杆部下端与螺纹孔连接。 

优选的，所述第一通孔和第二通孔均设置于密封座的法兰部的四角，且所述第一通孔与密封座的中心线之间的距离大于第二通孔与密封座的中心线之间的距离。 

优选的，所述电擦机构包括可导电的固定座、电极输入件、电擦轮、法兰管、绝缘连接板和导电线，所述电极输入件安装于盖板的下面，所述固定座通过绝缘连接板与盖板连接，所述电极输入件通过导电线与固定座的侧面连接，所述固定座的下端设有安装孔，所述电擦轮安装于安装孔内，所述法兰管的一端插入电擦轮，所述法兰管的另一端与靶壳连接。 

本实用新型相对于现有技术具有如下的优点： 

1、本用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置中的靶芯机构增了隔水管，且隔水管与靶芯、密封板形成腔，从而防止磁钢靶与靶壳内的冷却水隔离，故磁钢磁不会因冷却水而生锈导致工作失效，提高了可靠性。 

2、本用于连续式磁控镀膜生产线的靶装置中的靶芯机构增了隔水管，则磁钢靶不会与靶壳接触，同时，隔水管约束了磁钢靶的位移，故防止发生磁路不均匀的情况发生，进一步避免了工作失效的情况出现，提高了可靠性。