[实用新型]一种恒压气浮导轨系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及移动摄像技术领域，尤其涉及一种恒压气浮导轨系统。

背景技术

超精密气浮工作台系统具有精度高、摩擦低、寿命长的优点，应用十分广泛，例如，集成电路的光刻机制程应用、摄像器材的动态无抖动拍摄应用等。

专利申请号为200610027352.1、实用新型名称为“一种调节气膜双向刚度的气浮支座”公开了一种用于精密气浮工作台的气浮支座。采用气浮支座来消除硅片台与大理石平台之间的摩擦力，硅片台架于气浮支座之上，气浮支座通过出气孔排出气体，空气压力使得气浮支座与大理石平台保持一段距离，以有效保证气浮工作台的运动精度。然而，气浮支座运动精度的关键是必须根据实际的需要调节气路压力，保证气膜厚度及气浮刚度。该专利申请却并未揭露如何调节气路压力并保证气路压力的稳定，而且该气浮支座结构相当复杂。

技术文献“超精密气浮工作台的微振动与抑制”(张鸣，朱煜，段广洪，《制造技术与机床》，2005年第11期)公开了超精密气浮工作台产生振动的成因及抑制方法，得出抑制超精密气浮工作台振动的措施是采用直径更小的气浮孔。虽然实践也证明了采用直径更小的气浮孔有助于改善气浮工作台的微振动，但更小的气浮孔在实际应用中往往会因为微颗粒而发生堵塞现象。此外，采用较小直径的气浮孔时，雷诺数已经降低到2000以下，层流状态时还需提供压力非常稳定的供气源和特定的气浮导轨结构。

此外，在摄像器材的动态无抖动拍摄过程中，传统的摄像系统基本上是固定的，动态拍摄均是采用类似铁轨滑车搭载摄像机进行拍摄，使摄像机在轨道上平滑运动，保证运动画面质量。但是这种接触方式仍然存在滚动摩擦，使用的耐久性较差。此外，上述滑轨也会存在一定程度的磨损，摄像机在运动过程中容易出现抖动，影响了动态拍摄效果。

有鉴于此，如何设计一种气控操作简单、气浮压力恒定、噪音小的气浮导轨系统，以消除现有的上述缺陷和不足，是业内相关技术人员亟待解决的一项课题。

实用新型内容

针对现有技术的气浮导轨系统在设计时所存在的上述缺陷，本实用新型提供了一种恒压气浮导轨系统，使气浮轨道上的移动设备可实现平稳移动，并抑制各种抖动现象。

依据本实用新型的一个方面，提供了一种恒压气浮导轨系统，包括一压缩空气控制气路和一气浮导轨，

其中，压缩空气控制气路用于感应所述气浮导轨中的气体压力，并且在所述气体压力小于压力阈值时向所述气浮导轨内补充气体，以确保所述气体压力保持恒定；

其中，气浮导轨包括管道、橡胶片和滑块，其中，所述管道的外表面具有多个均匀排列的气孔，所述橡胶片放置在所述管道的内部且与所述管道的长度相匹配，所述滑块设置于所述管道的外表面，所述橡胶片和所述滑块上分别安装有间距相同的多个永磁铁，且永磁铁的极性相同。当所述滑块移动到所述管道的任一位置时，所述橡胶片在永磁铁之间的磁性斥力作用下从所述管道的内管壁相脱离，所述管道内的部分气体从所述气孔流出，所述滑块和所述管道之间形成气浮区以便所述滑块在所述管道的上方悬空滑行。

在其中的一实施例，所述压缩空气控制气路包括依次密封连接的一电磁阀、一恒压储气罐和一压力开关，其中，所述电磁阀和所述压力开关电连接，当所述气体压力小于所述压力阈值时，所述压力开关开启且所述电磁阀同步开启。

在其中的一实施例，当所述气体压力达到所述压力阈值时，所述压力开关断开且所述电磁阀同步关闭。

在其中的一实施例，所述压缩空气控制气路还包括过滤器和精密调压阀，所述过滤器用于过滤送入所述压缩空气控制气路中的压缩空气，所述精密调压阀设置于所述过滤器和所述电磁阀之间，用于调节过滤后的压缩空气的气压。

在其中的一实施例，所述压缩空气控制气路还包括一流量调节阀，设置于所述恒压储气罐和所述压力开关之间，当所述压力开关和所述电磁阀开启时，所述流量调节阀用于调节向所述气浮导轨补充的气体流量。

在其中的一实施例，所述气浮导轨的管道为塑料材质的圆形管道。

在其中的一实施例，所述气孔的孔径为0.7mm。

在其中的一实施例，当所述管道内的气体压力达到所述压力阈值时，所述橡胶片在气压作用下紧贴于所述管道的内管壁，从而封堵所述管道外表面上的气孔。

在其中的一实施例，所述滑块和所述管道之间所形成的所述气浮区随着所述滑块的移动而相应移动。

在其中的一实施例，所述恒压气浮导轨系统适用于移动摄像设备。