[实用新型]一种聚焦离子束显微镜的样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体工艺设备技术领域，特别是涉及一种聚焦离子束显微镜的样品台。

背景技术

FIB(Focus Ion Beam，聚焦离子束)是一种功能强大的电性分析工具，能够观察样品的截面而被广泛应用于半导体失效分析中。

目前，FIB机台使用的样品台如图1所示，包含平台11和用于将所述平台连接于检测机台的螺丝12。在使用的过程中，如图2所示，样品13通过粘贴物14(如铜胶带、碳胶、银胶等)粘在所述平台11上作为固定，以保证样品在后面处理过程中被电子轰击时的稳定性，同时，铜胶带、碳胶、银胶等具有很好的导电性，避免因样品表面聚积电荷而影响最终测试的成像效果。

但现有方法依然存在很多缺陷：铜胶带粘贴的样品稳定性不足，在受到电子轰击时(尤其是在高温下)，极易产生图像抖动，所以，为了避免图像抖动，在粘贴的时候需要尽量粘贴紧；但粘贴过紧，在测试完成后揭去胶带的时候却很麻烦，而且极易对样品造成损坏。尤其是银胶和碳胶作为粘贴物14的情况中，使用完后还需要用丙酮擦洗才能彻底去除干净，但丙酮具有一定的挥发性，会对人体造成吸入性伤害，无形中对工程师的健康构成威胁。

鉴于此，有必要设计一种新的聚焦离子束显微镜的样品台以解决上述技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种聚焦离子束显微镜的样品台，用于解决现有技术中由于使用铜胶带、碳胶、银胶等将样品紧贴在样品台上，在测试完成后很难将样品揭下来，且在揭的过程中很容易对样品造成损伤的问题，以及在去除样品台上粘贴用的胶时，需要使用丙酮等易挥发性有机物，会对人体造成伤害的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种聚焦离子束显微镜的样品台，所述样品台至少包含：平台，适于放置样品；盖体，所述盖体上设有开口，适于利用所述开口的边缘压制放置于所述样品的边缘，以固定所述样品；螺丝，位于所述平台底部，适于将所述平台固定于测试机台上；以及连接所述平台和盖体的第一连接件。

作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述平台上表面设置有样品放置区，所样品放置区的轮廓与所述开口的轮廓相对应。

作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述开口为十字形开口，至少包含第一开口部、第二开口部、第三开口部和第四开口部。

作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述第一开口部、第二开口部、第三开口部和第四开口部中至少有一个开口部的宽度与其他各开口部的宽度不相等。

作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述第一开口部、第二开口部、第三开口部和第四开口部的宽度各不相等。

作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述盖体的材料为金属材料。

作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述聚焦离子束显微镜的样品台还包含一固定装置，所述固定装置至少包含卡扣、卡勾和第二连接件，所述卡扣通过所述第二连接件固定于所述盖体上，且位于与所述第一连接件的相对的一端；所述卡勾固定于所述平台的侧壁上，并与所述卡扣对应。

作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述卡扣上设置有一插孔，所述插孔至卡扣固定端的距离与所述卡勾至所述平台上表面的距离相等。

作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述卡扣的长度大于所述平台的厚度。

如上所述，本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台，具有以下有益效果：所述样品台包含一带有十字开口的盖体，通过加入盖体，使得样品与样品台的接触稳定性更好，且取样品时只需要打开盖体即可，操作更加便捷；所述盖体的十字开口分为四个开口部，且各开口部的宽度各不相同，可以实现对不同样品的同时检测；进一步的，盖体的材料为金属材料，在固定样品的同时，可以导走样品表面聚积的电荷，确保测量结构的准确性。

附图说明

图1显示为现有技术中聚焦离子束显微镜的样品台的结构示意图。

图2显示为现有技术中的样品粘贴至聚焦离子束显微镜的样品台的示意图。

图3显示为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台盖体打开时的结构示意图。

图4显示为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台盖体的结构示意图。

图5显示为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台放置样品盖体盖上时的结构示意图。

元件标号说明

11、21    平台