[实用新型]基于MEMS技术的振动发电无源乘车引导器

权利要求书

1.一种基于MEMS技术的振动发电无源乘车引导器，包括站台(1)，站台(1)内包含有至少两个等候区(2)，其特征在于：所述站台(1)的每个等候区(2)的地面埋有至少四个MEMS能源采集器(3)，所述MEMS能源采集器(3)按阵列方式分布，所述MEMS能源采集器(3)的电压输出端接电源(4)充电端，一个电源(4)放电端接一个提示灯(5)；所述站台(1)的入口处设有指示屏(6)，所述提示灯(5)安装在指示屏(6)上。

2.根据权利要求1所述基于MEMS技术的振动发电无源乘车引导器，其特征在于：一个所述等候区(2)中的所有MEMS能源采集器(3)的电压输出端接同一个电源(4)充电端，一个等候区(2)对应指示屏(6)上一个提示灯(5)。

3.根据权利要求1所述基于MEMS技术的振动发电无源乘车引导器，其特征在于：一个等候区(2)中的一个MEMS能源采集器(3)的电压输出端对应一个电源(4)充电端，一个等候区(2)上对应指示屏(6)上一个提示灯组，提示灯组由阵列方式分布的提示灯(5)组成。

4.根据权利要求2或3所述基于MEMS技术的振动发电无源乘车引导器，其特征在于：所述电源(4)包括桥式整流二极管D和电容C，所述MEMS能源采集器(3)的正相输出端连桥式整流二极管D的正相输入端，桥式整流二极管D的负相输入端与桥式整流二极管D的负相输出端相连，整流二极管D的正相输出端接电容C一端，MEMS能源采集器(3)的负相输出端接电容C另一端，电容C两端为电源(4)放电端。

5.根据权利要求2或3所述基于MEMS技术的振动发电无源乘车引导器，其特征在于：MEMS能源采集器(3)是D33模式的压电式能源采集器。

6.根据权利要求5所述基于MEMS技术的振动发电无源乘车引导器，其特征在于：D33模式的压电式能源采集器包括Si架(21)，所述Si架(21)上固定有复合悬臂梁，所述复合悬臂梁顶部是交错间隔分布的两组Pt/Ti叉指电极(22)，在Pt/Ti叉指电极(22)之下依次是PZT压电层(23)，ZrO₂层(24)和SiO₂层(25)，复合悬臂梁的末端固定有镍质量块(26)。