[实用新型]一种多模干涉结构

权利要求书

1.一种多模干涉结构，包括输入波导、多模区域和输出波导，其特征在于：

所述多模区域为非对称结构。

2.根据权利要求1所述的多模干涉结构，其特征在于：

所述多模区域由具有对称结构的多模区域去除其中部分结构得到。

3.根据权利要求2所述的多模干涉结构，其特征在于：

所去除的部分结构的形状为矩形。

4.根据权利要求1所述的多模干涉结构，其特征在于：

所述输入波导和/或输出波导为非良导体材料波导，或非良导体材料与金属结合的表面等离子体波导。

5.根据权利要求4所述的多模干涉结构，其特征在于，所述表面等离子体波导为：

非良导体材料表面覆盖一层金属的表面等离子体波导。

6.根据权利要求4或5所述的多模干涉结构，其特征在于：

所述非良导体材料为电介质、半导体或有机物。

7.根据权利要求6所述的多模干涉结构，其特征在于：

所述电介质为二氧化硅、二氧化钛或氧化镓；

和/或，所述半导体为硅、锗、氮化硅或三五族光电子化合物材料。

8.根据权利要求7所述的多模干涉结构，其特征在于：

所述三五族光电子化合物材料为磷化铟或氮化镓。

9.根据权利要求5所述的多模干涉结构，其特征在于，所述表面等离子体波导为：

硅或二氧化硅表面覆盖一层银或金的表面等离子体波导。

10.根据权利要求3所述的多模干涉结构，其特征在于：

所述多模干涉结构为光功率分束器，所述光功率分束器通过改变所去除的矩形的尺寸来实现任意分束比。