[实用新型]一种激光退火设备

权利要求书

1.一种激光退火设备，用于对待处理层进行激光退火处理，其特征在于，该激光退火设备包括：

移动工作台，用于装载具有所述待处理层的基板；以及

过渡腔室，设置在所述移动工作台的上方，用于向所述待处理层供给惰性气体，其中所述惰性气体的温度为200～500℃。

2.根据权利要求1的激光退火设备，其特征在于，所述过渡腔室的上部开设有透过窗，用于使激光进入所述过渡腔室，所述过渡腔室的下部开设开口，用于使激光和所述惰性气体离开所述过渡腔室，所述开口对准所述待处理层并与所述透过窗相对应。

3.根据权利要求2的激光退火设备，其特征在于，所述激光退火设备还包括一加热腔室，所述加热腔室与所述过渡腔室相连通，所述加热腔室中设置加热器，所述加热器用于对所述惰性气体进行加热。

4.根据权利要求3的激光退火设备，其特征在于，所述加热器为附带温度控制功能的电热元件。

5.根据权利要求3的激光退火设备，其特征在于，所述过渡腔室与所述加热腔室的连通处设置有气体隔板。

6.根据权利要求5的激光退火设备，其特征在于，所述气体隔板包括多个设置在所述过渡腔室上部的第一隔板与多个设置在所述过渡腔室下部的第二隔板，所述第一隔板与所述第二隔板交替排列，且所述第一隔板与所述第二隔板的长度的加和大于或等于所述过渡腔室的上部与所述过渡腔室的下部之间的距离。

7.根据权利要求1至6中任一项的激光退火设备，其特征在于，所述待处理层为非晶硅层。

8.根据权利要求1至6中任一项的激光退火设备，其特征在于，所述惰性气体为氮气或氩气。