[实用新型]一种低能耗单晶炉

权利要求书

1.一种低能耗单晶炉，包括炉体和竖直设置在炉体内底盘上的石墨埚杆(14)，石墨埚杆(14)的上端托住石英坩埚(10)；其特征在于：所述的石墨埚杆(14)上部设有开口朝上的石墨托杯(12)，在石墨托杯(12)的空腔内填充保温隔热材料(2)，所述石英坩埚(10)位于石墨托杯(12)上。

2.根据权利要求1所述的一种低能耗单晶炉，其特征在于：所述的保温隔热材料(2)为厚度≥100mm的保温隔热碳毡。

3.根据权利要求2所述的一种低能耗单晶炉，其特征在于：在所述的石墨托杯(12)和石英坩埚(10)之间还设有石墨埚托(11)。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种低能耗单晶炉，其特征在于：还包括固定在所述炉体的内壁上的碳毡保温内层(7)，在所述碳毡保温内层(7)的内壁上安装保温内筒(9)，在所述碳毡保温内层(7)和保温内筒(9)的顶端设有环形盖板(3)，在所述环形盖板(3)的外周和上方覆盖碳毡保温上层(4)，所述碳毡保温上层(4)的厚度≥62mm；在碳毡保温上层(4)上设有封气环(5)；在所述炉体的底盘上铺设碳毡保温底层(1),所述碳毡保温底层(1)的厚度≥120mm。