[实用新型]内置排气装置的单晶炉有效
| 申请号： | 201420329579.1 | 申请日： | 2014-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN203923441U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 李德建;赵会刚;张晓朋 | 申请（专利权）人： | 河北宁通电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 055550*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 内置 排气装置 单晶炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种内置排气装置的单晶炉，包括炉体(2)，所述炉体(2)内设置有保温筒(7)，炉体(2)与保温筒(7)之间设置有保温毡(3)，所述炉体(2)内设有石墨坩埚(5)，所述石墨坩埚(5)内设有石英坩埚(4)，所述石英坩埚(4)外侧设有加热器(6)，所述炉体(2)下部两侧设置有真空抽口(9)，其特征在于：所述保温筒(7)和保温毡(3)内置有排气装置(8)，所述排气装置(8)的出气口与真空抽口(9)连通，排气装置(8)的进气口与保温筒(7)和加热器(6)之间的内腔连通；所述排气装置(8)由自内向外依次布置的同心内、中、外保温圈以及与其贴合形成具有双层环形气道结构的上、下盖板圈构成，所述内、中、外保温圈的环壁上均设置有环列排气孔。
2.根据权利要求1所述的内置排气装置的单晶炉，其特征在于：所述内保温圈(13)的环壁上设置的第一环列排气孔(15)与中保温圈(12)的环壁上设置的第二环列排气孔(14)相对应，所述外保温圈(11)的环壁上设置有第三环列排气孔(10)，所述第三环列排气孔(10)的孔径大于第一环列排气孔(15)和第二环列排气孔孔径(14)。
3.根据权利要求1所述的内置排气装置的单晶炉，其特征在于：所述内保温圈(13)与中保温圈(12)形成的环形气道内填充有保温材料(17)。
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