[实用新型]一种全自动硅片清洗机

权利要求书

1.一种全自动硅片清洗机，包括机体，所述的机体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽，其特征在于：所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置，所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、搬运勾手、和用于承载硅片的花篮，所述的支撑座装于机体上，并可在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动，所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝杆，所述的连接臂装于支撑座上，并可相对支撑座上下升降，所述的连接臂上连接有用于驱动其上下升降的升降电机和升降丝杆，所述搬运勾手的上端端部对应设有可卡装于所述连接臂上的C形卡块，且所述C形卡块的开口端两侧平行延伸有两凸块，两凸块之间通过螺栓锁紧固定，所述搬运勾手的下端端部对应形成倒钩，所述的花篮由用于承载硅片的篮体和用于提拉的横梁连接构成，所述的篮体上均布有若干个漏水孔，所述的横梁上设有可与所述搬运勾手上的倒钩形成钩配的凹口。

2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征在于：所述的花篮上方还设有喷淋装置，所述的喷淋装置包括有一个呈田字形设置的水管，所述水管的下表面上均布有若干喷淋头，所述水管的上表面中心设有与外部进水管连接的接头，所述的连接臂为两条，且每条连接臂上均设有两个搬运勾手，同一条连接臂上的两个搬运勾手之间均设有一连接横杆，每条连接横杆上均轴向线性排布有至少两个支撑块，每块支撑块的上端面上均设置有一个用于承载所述田字形水管的卡口。

3.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征在于：所述的机体上还设置有供所述支撑座往返滑动的导槽。

4.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征在于：所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽的底面上还均设有可与所述花篮连接的垫块，且所述的垫块上还设置有延伸至槽侧壁的斜面导块。