[实用新型]一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置

权利要求书

1.一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，其特征在于，包括：

一酸槽，用于对放置的多晶硅料进行酸液清洗，

一酸副槽，用于对存储的混合酸缓存及冷却，该混合酸为氢氟酸和硝酸的混合物，

一循环管道，将所述酸槽和酸副槽连通，

所述酸副槽内设置有列管式换热器，列管式换热器的一端连接有冷却水进口，列管式换热器的另一端连接有冷却水出口。

2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，其特征在于，所述列管式换热器整体蛇形排布，由一内管和一套设于内管上的外管构成。

3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，其特征在于，所述冷却水进口处和冷却水出口处均设置有控制阀，且在冷却水出口处设置有酸度计。

4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，其特征在于，所述酸槽和所述酸副槽上还设置有温度计和液位计，该温度计用于检测对应槽体的酸温度。