[实用新型]一种半导体二极管的新型结构有效
| 申请号: | 201420302897.9 | 申请日: | 2014-06-09 |
| 公开(公告)号: | CN203950814U | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
| 发明(设计)人: | 肖乾 | 申请(专利权)人: | 青岛矽科微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861 |
| 代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
| 地址: | 266000 山东省青岛市崂山区株洲路1*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 二极管 新型 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及电子信息技术领域,特别涉及一种半导体二极管的新型结构。
背景技术
半导体二极管是一种具有两个电极的电子元器件,内部有一个由P型半导体和N型半导体形成的PN结,只允许电流由单一方向流过,一般应用于电流整流方面,可以使交流电流变为直流电流。
二极管通过电流的大小,取决于内部P型半导体和N型半导体形成的PN结的面积。由于成本、芯片加工工艺、封装体积及成本的限制,芯片面积不可能无限加大。因此对于大功率整流二极管,只有提高单位芯片面积的电流通过能力,即在芯片面积保持不变的情况下增大PN结的面积才能在保持成本不变的情况下通过更大的电流。现有二极管内部的P型半导体和N型半导体的结合面均为平面,PN结的面积与芯片的面积相同,为了适应各行业的需求,故有必要对现有二极管内部PN结的结合面结构进行进一步地技术革新。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足,提供一种结构简单,设计合理、易于生产加工的半导体二极管的新型结构。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
本实用新型所述的一种半导体二极管的新型结构,包括P型极、N型极 和PN结,PN结设置在P型极和N型极之间;所述PN结由若干个凹形排和若干个凸形排组成,凹形排和凸形排相互间隔连接而成。
采用上述结构后,本实用新型有益效果为:本实用新型所述的一种半导体二极管的新型结构,包括P型极、N型极和PN结,PN结设置在P型极和N型极之间;所述PN结由若干个凹形排和若干个凸形排组成,凹形排和凸形排相互间隔连接而成。在使用本实用新型时,通过将平面形的PN结变为多个弧面组成的PN结,从而实现了通过增大PN结面积来提高了电流密度的目的。本实用新型具有结构简单,设置合理,制作成本低等优点。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是PN结的立体图;
图3是第一块光刻版的结构示意图;
图4是第二块光刻版的结构示意图;
附图标记说明:
1、P型极;2、N型极;3、PN结;3-1、凹形排;3-2、凸形排;
41、第一块光刻版;42、第二块光刻版。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
如图1-2所示,本实用新型所述的一种半导体二极管的新型结构,包括P型极1、N型极2和PN结3,PN结3设置在P型极1和N型极2之间;其特征在于:所述PN结3由若干个凹形排和若干个凸形排组成,凹形排和凸形排相互间隔连接而成。
需要说明的是:图中的凹形排3-1和凸形排3-2的数量远远不止这几个,该图仅仅是示意图,并不能说明它们的数量就这么多;它们的数量要根据具体的产品型号来确定。
本实用新型生产过程如下:
第一步,设计两块如图3、图4的栅状光刻版;
第二步,首先选择第一块光刻版41制作离子注入窗口,采用低能量完成离子注入;然后选择第二块光刻版42制作离子注入窗口,采用高能量完成离子注入;然后经过高温扩散修复注入损伤并激活离子。为了达到较好的PN结形状,也可以采用不同的能量进行多次离子注入完成。其他工艺与常规二极管生产工艺相同。
在使用本实用新型时,通过该技术改良后的二极管与传统二极管相比,同样的芯片面积下,电流通过能力会提高20%-25%,从而实现了增大电流密度的目的。另外,该结构简单、设计合理,制造成本低。
以上所述仅是本实用新型的较佳实施方式,故凡依本实用新型专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰,均包括于本实用新型专利申请范围内。
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