[实用新型]一种可调光学谐振装置

权利要求书

1.一种可调光学谐振装置，其特征在于，包括衬底(1)以及附着于所述衬底(1)上的第一波导(2)、第二波导(3)、光学谐振器(4)和第三波导(5)； 

所述第一波导(2)和所述第二波导(3)依次设置在所述光学谐振器(4)的一侧，所述第三波导(5)设置在所述光学谐振器(4)的另一侧； 

所述第一波导(2)和所述第二波导(3)与所述衬底(1)的接触面镂空；所述第二波导(3)的截面面积大于所述第一波导(2)的截面面积。 

2.如权利要求1所述的可调光学谐振装置，其特征在于，所述第一波导(2)的任意一端固定于所述衬底(1)上，所述光学谐振器(4)设置在靠近所述第一波导(2)的非固定端的尾部或中部。 

3.如权利要求1所述的可调光学谐振装置，其特征在于，所述第一波导(2)的两端均固定在所述衬底(1)上，所述光学谐振器(4)设置在所述第一波导(2)的中部。 

4.如权利要求1所述的可调光学谐振装置，其特征在于，所述衬底(1)、第一波导(2)、第二波导(3)、光学谐振器(4)和第三波导(5)的材料是基于硅、二氧化硅、氮化硅、磷化铟、铟镓砷磷和其它集成光电子常用材料体系。 

5.如权利要求1-4任一项所述的可调光学谐振装置，光学谐振器(4)为微环谐振器、跑道型微环谐振器、微盘谐振器或光子晶体微腔。 

6.如权利要求1-4任一项所述的可调光学谐振装置，其特征在于，所述第一波导(2)与光学谐振器(4)之间的间距为100nm到700nm。 

7.如权利要求1-4任一项所述的可调光学谐振装置，其特征在于，所述第一波导(2)和所述第二波导(3)之间的间距为30nm到300nm。 

8.如权利要求1-4任一项所述的可调光学谐振装置，其特征在于，光 学谐振器(4)为半径值1μm到500μm的微环谐振器；所述微环谐振器的波导截面宽度为100nm到500nm，高度为250nm到1μm。 

9.如权利要求1-4任一项所述的可调光学谐振装置，其特征在于，第一波导的截面宽度为100nm到500nm，高度为250nm到1μm，第二波导截面宽度大于第一波导截面宽度。 

10.如权利要求8所述的可调光学谐振装置，其特征在于，光学谐振器(4)为半径为5μm的微环谐振器，所述微环谐振器波导截面宽250nm，高500nm；所述第一波导(2)和所述第三波导(5)截面宽度为250nm，高度为500nm；所述第二波导(3)截面宽度为500nm，高度为500nm；所述第一波导(2)和所述第二波导(3)的间距为60nm。