[实用新型]一种法兰焊接装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及一种法兰焊接装置。

背景技术

法兰是管子与管子之间相互连接的零件，用于管路端口之间的连接。法兰连接使用方便，能够承受较大的压力，是管道施工的重要连接方式。如图1所示为常见的法兰结构，法兰1包括一个圆环11以及均匀分布于所述圆环11上的多个螺栓口12。法兰与法兰之间的连接是在两个法兰之间加上法兰垫，在螺栓口12中以螺栓将两个法兰紧固在一起，完成连接。根据法兰与管路之间的连接方式，可将法兰分为丝接法兰和焊接法兰，丝接法兰的圆环内径处带螺纹，可以通过螺纹将丝接法兰拧到带螺纹的管路上，一般适用于压力比较小的管路；焊接法兰的圆环内径处不带螺纹，需要通过焊接将焊接法兰跟管路焊接在一起，适用于各种压力的管路连接。晶圆厂的生产中，常需要有机溶剂来处理晶圆，由于有机溶剂的易燃易爆特性，有机溶剂的输送必须使用封闭的管路来实现，同时有机溶剂的输送需要承受一定的压力，所以有机溶剂管路的连接法兰一般是焊接法兰。

正是因为有机溶剂的易燃易爆特性，必须确保有机溶剂管路的密封性能良好，一旦泄露势必会产生有机溶剂异味，影响晶圆厂中的生产，甚至会有火灾隐患。而有机溶剂管路法兰焊接处为整个管路系统的薄弱环节，法兰易受腐蚀而引起泄漏。为了解决法兰受腐蚀而引起的有机溶剂泄露可采用在有机溶剂管路的法兰外涂层或者包裹的处理方法，但是这种涂层或包裹的方法不够严密很容易受高压作用和有机溶剂的腐蚀引起再次泄漏，不能从根本上解决问题。所以有机溶剂管路的维护需要对法兰进行定期的检查，当发现泄漏情况时及时更换法兰以确保生产安全。

焊接法兰的更换方法一般是通过切割将导致泄漏的法兰从管路上取下，然后再通过电焊将新的法兰焊接上管路，在法兰之间加上垫片，再通过螺栓固定连接法兰以实现管路的连接。更换法兰需要涉及切割或电焊等动火作业，所以必须停产清洗管路，确保动火作业的施工安全，如果不停产势必引起火灾造成有机溶剂管路窜烧，后果不堪设想。但是，晶圆生产中的停产直接影响经济效益，会带来比较大的经济损失。

因此，如何在不停产的前提下，更换有机溶剂管路的法兰成为本领域的技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种法兰焊接装置，用于解决现有技术中更换法兰需停产、造成经济损失等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种法兰焊接装置，所述法兰焊接装置至少包括：设置于管路端口的气囊，所述气囊连接于充气装置；位于所述气囊上方的冷却装置以及朝向于管路端口的清洁装置。

优选地，所述气囊的材质为橡胶。

优选地，所述充气装置给所述气囊中充入的气体为氮气。

优选地，所述气囊完全充满后的直径不小于所述管路的直径。

优选地，所述气囊充气后与所述管路气密连接。

优选地，所述冷却装置为水枪。

更优选地，所述水枪连接冷却水。

优选地，所述气囊的正下方还放置一个承接漏斗。

优选地，所述清洁装置为吹气枪。

更优选地，所述吹气枪吹入的气体为氮气。

如上所述，本实用新型的法兰焊接装置，具有以下有益效果：

本实用新型的法兰焊接装置在不停产的前提下进行动火作业，隔绝火源与有机溶剂，使得不停产更换有机溶剂法兰成为可能，减小经济损失。

附图说明

图1显示为现有技术中的法兰结构示意图。

图2显示为本实用新型的法兰焊接装置示意图。

元件标号说明

1                       法兰

11                      圆环

12                     螺栓口

2                      法兰焊接装置

21                     气囊

22                     充气装置

23                     冷却装置

24                     清洁装置

25                     承接漏斗

3                      主管

4                      支管

5                      法兰

具体实施方式