[实用新型]具静电防护的电容式指纹传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电容式指纹传感器，尤指一种具静电防护的电容式指纹传感器。

背景技术

指纹为皮肤表皮上突起的纹路，并且每个人随着遗传特征的不同，亦各自具有相异的指纹，使得纹指目前已广泛使用于个人身份辨识时的一种生物特征。

随着半导体产业的蓬勃发展，利用半导体芯片所制成的电容式指纹传感器，已渐渐的应用于各式各样的移动电子装置上，以降低该移动电子装置被盗用的风险。由于电容式指纹传感器之中的电容感测元件，其表面为了得以供一手指接触以进行检测，必须大面积的暴露于一外界，但是任何带电的物体都有可能因产生静电对该电容感测元件造成损坏，因此，使得该电容式指纹传感器之中的抗静电结构愈来愈重要。

例如在中国发明专利公开第CN102682271号中，即揭示一种电容式指纹集成电路的静电损害防护结构，包含有多个感测板，形成感测板阵列以界定一感测区域；一第一钝化层，覆盖在该感测板上；一图案化静电损害防护金属层，沉积在该第一钝化层上并且具有一鱼骨状(fish-bone-like)结构；一共同导电层(common conductive layer)，连接至该鱼骨状结构且在该感测区域上方围绕，并用以将静电电荷传导至外界；一相关的信号处理电路，位于该感测板的下方，并且与该感测板电性连接；以及一第二钝化层，介设在该感测板与该信号处理电路之间。据此，可保护该感测板以及该信号处理电路，避免受到静电损害。

然而，上述的该静电损害防护结构，该鱼骨状结构为朝一横向延伸，使得其尖端所产生的电场集中效应，对于从表面往下产生的静电，在引导上仍有改善的空间，而有改良的需求。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种具静电防护的电容式指纹传感器，解决现有的电容式指纹传感器的静电损害防护结构在对静电的引导上仍有不足的问题。

为达上述目的，本实用新型提供一种具静电防护的电容式指纹传感器，包含有一感测基底、多个电容感测板、一第一介电层、一第二介电层、一第三介电层以及一静电防护结构。

该感测基底包含有一基板以及一设置于该基板上的感测电路；该电容感测板设置于该感测电路上并与该感测电路电性连接；该第一介电层设置于该电容感测板与该感测电路之间；该第二介电层设置于该第一介电层上而覆盖该电容感测板；该第三介电层设置于该第二介电层上；而该静电防护结构设置于该第三介电层之中，并包含有一导电网格以及多个设置于该导电网格上的导电柱，该导电网格包含多个位置对应该电容感测板的空格区域以及多条相互交错围绕出该空格区域的网格线，该导电柱设置于该网格线上，包含有一底段以及一设置于该底段上的顶段，该顶段具有一小于该底段的顶段宽度。

其中，该导电柱设置于该网格线交错的一交错处上。

其中，该静电防护结构更包含一环绕该导电网格并与该导电网格电性连接的导电环。

其中，该导电柱更包含一位于该顶段上的尖端，该尖端具有一小于该顶段宽度的尖端宽度。

其中，该尖端宽度为1μm。

其中，该顶段宽度大于2μm，小于4μm。

其中，该底段具有一底段宽度，该底段宽度大于4μm，小于6μm。

其中，该第二介电层具有一大于该第一介电层的介电常数。

其中，该第三介电层具有一小于该第二介电层的介电常数。

其中，该电容感测板包含一贯穿该第一介电层而与该感测电路电性连接的连接线。

其中，该第三介电层的厚度为介于3μm至4μm之间。

其中，该第二介电层的厚度为介于15μm至20μm之间。

据此，本实用新型借由于该静电防护结构设置该导电网格以及该导电柱，令该导电柱的该顶段具有小于该底段的该顶段宽度，使该导电柱能够朝上针对一往下产生的静电直接快速的进行引导，提高对一电场集中的效应，以增加对该电容感测板与该感测电路的保护。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的俯视示意图。

图2为本实用新型一实施例导电柱的放大立体示意图。

图3为图1的局部剖面示意图。

其中，附图标记：

10感测基底

11基板

12感测电路

20电容感测板

21连接线

30第一介电层

40第二介电层

50第三介电层

51感测面

60静电防护结构